Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster Diélectrique 300 mm»)

CEA/Grenoble

Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.
Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2017-09-21. L'appel d'offres a été publié le 2017-08-07.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2017-08-07 Avis de marché
2017-10-02 Avis d'attribution de marché
2018-11-15 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2017-08-07)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Numéro de référence: AOO-170571-CMF
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C. Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
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Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦
Lieu d'exécution
Région NUTS: Isère 🏙️

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438789943 📞
Fax: +33 438785060 📠
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Dates
Date d'envoi: 2017-08-07 📅
Date limite de soumission: 2017-09-21 📅
Date de publication: 2017-08-09 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2017/S 151-312403
Numéro JO-S: 151
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l'expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr. Modalités d'obtention du Dossier de Consultation: Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat: — devra le demander par télécopie adressée à l'attention de Claire Moreau-Flachat (fax: 04.38.78.50.60) ou par courrier à l'adresse suivante: CEA/Grenoble — service Achats — Claire Moreau-Flachat — bât C4 — pièce 425 — 17 rue des Martyrs — 38054 Grenoble. — ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l'URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-170571-CMF. Modalités de transmission des candidatures et des offres: Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants: — capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d'assurance qualité, références sur des fournitures similaires, — capacité financière.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.
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Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.
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Durée de l'accord: 12 mois
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — conditions d'accès réglementées.

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Le candidat fournira à l'appui de sa candidature:
— le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses co-traitants) ou équivalent,
— le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent,
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant:
— la copie du ou des jugements prononcés s'il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente,
— lorsqu'il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis-à-vis des autres entreprises du groupe.

Procédure
Heure limite de réception des offres: 16:00
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: anglais 🗣️
français 🗣️
Période de validité de l'offre: 6 mois
Date d'ouverture des offres: 2017-09-22 📅
Heure d'ouverture des offres: 14:00

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Mme Claire Moreau-Flachat
Adresse Internet: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Référence
Informations complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l'expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
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Le présent avis et/ou les documents de la consultation peuvent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr.
Modalités d'obtention du Dossier de Consultation:
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat:
— devra le demander par télécopie adressée à l'attention de Claire Moreau-Flachat (fax: 04.38.78.50.60) ou par courrier à l'adresse suivante:
CEA/Grenoble — service Achats — Claire Moreau-Flachat — bât C4 — pièce 425 — 17 rue des Martyrs — 38054 Grenoble.
— ou le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l'URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr
Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-170571-CMF.
Modalités de transmission des candidatures et des offres:
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants:
— capacité professionnelle: aptitude technique, organisation en matière d'assurance qualité, références sur des fournitures similaires,
— capacité financière.

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000 📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr 📧
Fax: +33 476422269 📠
Adresse Internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2017/S 151-312403 (2017-08-07)
Avis d'attribution de marché (2017-10-02)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Équipement électromécanique
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2,SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C. Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
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Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Équipement électromécanique 📦

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA / Grenoble

Référence
Dates
Date d'envoi: 2017-10-02 📅
Date de publication: 2017-10-05 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2017/S 191-390984
Se réfère à l'avis: 2017/S 151-312403
Numéro JO-S: 191

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2,SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.
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Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.

Procédure
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Pondération du prix: 50
Source: OJS 2017/S 191-390984 (2017-10-02)
Avis d'attribution de marché (2018-11-15)
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: PCN-170686-CMF
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC. Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
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Valeur totale du marché: 1 EUR 💰

Procédure
Type de procédure: Procédure concurrentielle avec négociation

Référence
Dates
Date d'envoi: 2018-11-15 📅
Date de publication: 2018-11-17 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2018/S 222-507726
Numéro JO-S: 222
Informations complémentaires
— la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux, — Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.
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Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.
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Informations complémentaires:
— la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux,
— Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.

Procédure
Critères d'attribution
Prix (pondération): 50

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2018-10-02 📅
Nom: Applied Materials South East Asia Pte Ltd
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
00 🏙️
Valeur totale du marché: 1 EUR 💰
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Source: OJS 2018/S 222-507726 (2018-11-15)
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Région:
France Centre — Val de Loire Centre — Val de Loire Indre-et-Loire Auvergne-Rhône-Alpes Rhône-Alpes Isère
Produits/services:
Machines, appareils, équipements et... Fournitures électroniques,... Équipement électronique Machines et appareils microélectroniques...