Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.
Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2017-09-21.
L'appel d'offres a été publié le 2017-08-07.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Avis d'attribution de marché (2018-11-15) Pouvoir adjudicateur Nom et adresse
Nom: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Mme Claire Moreau-Flachat
Téléphone: +33 438789943📞
Courrier électronique: claire.moreau-flachat@cea.fr📧
Fax: +33 438785060 📠
Région: Isère🏙️
URL: www.cea.fr🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
Objet Champ d'application du marché
Titre:
“Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).
PCN-170686-CMF”
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes📦
Brève description:
“Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de...”
Brève description
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.
Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
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Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 1 💰
1️⃣
Lieu d'exécution: Isère🏙️
Site principal ou lieu d'exécution: CEA Grenoble — conditions d'accès réglementées.
Description du marché:
“Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement...”
Description du marché
Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.
Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Afficher plus Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Qualité technique de l'offre
Critère de qualité (pondération): 45
Critère de qualité (nom): Délais
Critère de qualité (pondération): 5
Prix (pondération): 50
Description
Informations complémentaires:
“— la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux,
— Il a été...”
Informations complémentaires
— la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l'appel d'offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux,
— Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.
Procédure Type de procédure
Procédure concurrentielle avec négociation
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2017/S 151-312403
Attribution du marché
1️⃣
Numéro de contrat: 4000801602 / P7T30
Titre:
“Fourniture d’un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques”
Date de conclusion du contrat: 2018-10-02 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Nombre d'offres reçues de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 2
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 0
Nom et adresse du contractant
Nom: Applied Materials South East Asia Pte Ltd
Commune postale: Singapour
Pays: Singapour 🇸🇬
Région: 00 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: EUR 1 💰
Informations complémentaires Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏 Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 476429000📞
Courrier électronique: ta-grenoble@juradm.fr📧
Fax: +33 476422269 📠
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/🌏
Source: OJS 2018/S 222-507726 (2018-11-15)