Brève description
Le CEA/LETI recherche pour ses programmes un nouvel équipement d'étalement de résines et de développement.
L'équipement devra être interfacé avec un scanner de lithographie à 193 nanomètre en immersion.
L'équipement devra être capable de traiter des plaques de 300 millimètres de diamètre. Il sera installé dans la salle blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.