AOO-170537-SVI — cluster 300 mm de dépôts diélectriques SiO2, SiN et Low K
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts ALD/PEALD/PECVD de matériaux diélectrique (SiO2, SiN, Low K, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 50 et 550°C...
Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2017-09-18.
L'appel d'offres a été publié le 2017-07-24.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Où ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2017-07-24
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Avis de marché
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| 2017-09-29
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Avis d'attribution de marché
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