Fourniture d’un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma micro-onde (2.45 GHz), de type Bell Jar, dédié à la synthèse de diamant monocristallin ou polycristallin

Quantity or scope

Le réacteur sera consacré à la croissance de diamant de haute pureté à grande vitesse de croissance.Le plasma doit permettre le dépôt de diamant d'épaisseur homogène (5 % de déviation sur toute la surface) et de 5 cm de diamètre, tout en assurant des densités de puissance micro-ondes supérieures à 160 W/cm3 (cette valeur est définie par le rapport entre la puissance micro-ondes injectée et le volume du plasma).Ce réacteur doit être équipé d'un porte-substrat de 2 pouces de diamètre pour assurer le contrôle de la température du substrat indépendamment de la densité de puissance micro-ondes utilisée.Les plages de fonctionnement du réacteur en terme de puissance, de pression et de température sont respectivement de 1-6 kW, 50-350 mbar et 600-1100 ° C. En outre, il doit être muni d'un pyromètre bi-chromatique pour mesurer la température du substrat. Sa gamme spectrale de fonctionnement doit être adaptée pour que la mesure ne soit pas perturbée par l'émission du plasma. Le réacteur permettra d'obtenir des films de diamant polycristallin d'épaisseurs supérieures à 500 μm, de hautes qualités optique et thermique, avec une vitesse de croissance supérieure à 5 μm/h.Le réacteur permettra également d'obtenir des films de diamant monocristallin de qualité électronique (teneur en azote, mesurée par ESR, inférieure à 1 ppb), d'épaisseurs supérieures à 500 μm avec une vitesse de croissance supérieure à 5 μm/h (la pureté des gaz fournis sera certifiée par un rapport d'analyse). L'objectif est la synthèse de films de diamant monocristallin à des vitesses de croissance supérieures à 5 μm/h, présentant la plus faible concentration d'azote possible et le moins de contamination métallique possible. Le réacteur sera également évolutif, de sorte que de nouveaux diagnostics in situ puissent être installés (exemple: spectrométrie d'émission de plasma ...).Le marché comprend en outre trois options au sens du droit français:— Option 1: fourniture d’une cloche de type Bell Jar en pièce de rechange,— Option 2: fourniture d’un porte-substrat en molybdène en pièce de rechange,— Option 3: fourniture d’un injecteur de gaz de l’enceinte à vide en pièce de rechange.