Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Siconnex Solutions Service Gmbh est mentionné
2021-10-27Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau …
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2014-11-04Fourniture d’un équipement de traitement chimique par batch (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de traitement chimique capable de traiter en même temps des « batch » de 50 plaques de silicium de 100, 150 ou 200mm de diamètre, avec la possibilité de basculer d’un diamètre de plaques à un autre très rapidement. L’équipement sera utilisé pour le nettoyage de matériaux de type III-V ; GaAs, InP, InGaAs, GaN, AlGaN, etc…il devra être capable de gérer à minima les 4 chimies suivantes au cours d’un procédé : Ozone, HF, NH4OH et HCl.
L’équipement …
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