Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur SCREEN SPE GERMANY Gmbh est mentionné
2021-10-04Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement …
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