Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur EV Group GmbH est mentionné
2022-07-06Machine de collage direct de substrats de 200mm et 300mm / 200/300mm direct bonding equipment (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’une machine de collage direct de substrats de 200mm et 300mm. La machine doit être complétement automatisée prenant les substrats dans des foups de 300mm de diamètre avec ou non des inserts.
Parmi l’ensemble des sous modules, la machine devra avoir une chambre d’activation plasma, une station de nettoyage chimique, un module de collage pouvant coller sous vide ou sous différentes atmosphères, et une station de mesure infra-rouge.
La machine sera installée dans …
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