Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur EV Group Europe & Asia Pacific GmbH est mentionné
2023-01-31Fourniture d’un équipement de collage direct de puces à plaque (CEA/Grenoble)
Le CEA-Leti souhaite acquérir une machine de collage direct de puces à plaque. Le collage direct des puces, se trouvant sur un film adhésif maintenu par un anneau de découpe métallique, devra se faire de façon collective sur une plaque de silicium de 200mm ou de 300mm de diamètre. Le collage devra être réalisé après un alignement ayant une précision inférieure à 50μm et sous atmosphère contrôlée. L’appui des puces sur la plaque devra être réalisé par un différentiel de pression.
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2018-10-24Fourniture d’un équipement composé de 2 réacteurs de préparation de surface (CEA/Grenoble)
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un équipement composé de 2 réacteurs de préparation de surface à installer sur un équipement de collage moléculaire existant EVG850LT.
Le 1 réacteur devra réaliser des nettoyages chimiques des plaques, le 2 des activations de surface par procédés plasma.
Ces réacteurs devront être capables de traiter des plaquettes 200 mm et 300 mm de diamètre. Ils seront installés dans la salle blanche du CEA LETI et seront utilisés 7 jours/7 et 24 heures/24.
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