Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Entegris INC est mentionné
2021-02-11Fourniture d’un banc de test de filtration et analyse de résidus issus de procédés de polissage mécano-chimique (CEA/Grenoble)
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de banc de test pour évaluer la performances des filtres utilisés pour les chimies de polissage dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique. Cet équipement aura pour vocation de simuler trois boucles de recirculation de chimie avec trois niveaux de filtrations ayant pour but d’enlever les grosses particules endommageant les circuits. L’équipement devra répondre à toutes les fonctionnalités demandées à savoir, un système de …
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