Marchés publics récents dans lesquels le fournisseur Edwards Vaccum est mentionné
2018-01-31Fourniture d'un système d'abattement (CEA/Grenoble)
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un système de traitement des effluents gazeux et liquides pour un équipement mono-réacteur de dépôt RP et atmosphérique pour l’épitaxie de matériaux de type Si, SiGe, 300 mm.
Ce système doit être:
— compatible avec les contraintes du site dans lequel il sera implanté (sous-sol),
— communicant avec l’équipement principal qui se trouvera en salle blanche.
En outre, des systèmes de pompage seront nécessaires à son bon fonctionnement.
Ceux-ci devront avoir les mêmes …
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