2011-02-21Réalisation d'un système de lithographie par faisceau d'électrons (Université Paris 13)
Système de lithographie par faisceau d'électrons.
Éléments constitutifs:
— une colonne optique,
— un système de pompage,
— un système de refroidissement,
— des porte-substrats haute précision x, y, z et tilt θ,
— un système de détecteurs d'électrons secondaires et un détecteur Inlens,
— un système de déflection du faisceau,
— un générateur de pattern ou système d'exposition,
— un système d'interférométrie laser pour le positionnement en x, y,
— possibilité de raccordement de champ,
— un logiciel de …
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2011-01-24Equipements des locaux des quatre sites de l'Université Paris 13 visant la mise en place d'un système unique de... (Université Paris 13)
Fourniture, installation et mise en service d'équipements permettant la mise en place d'un système de contrôle d'accès (autonomes ou filaires) pour l'ensemble des locaux (portes extérieures et intérieures) situés sur les quatre sites de l'Université Paris 13 suivants:
— campus de Villetaneuse (99 avenue Jean-Baptiste Clément 93430 Villetaneuse, FRANCE),
— campus de SAint-Denis (place du 8 Mai 1945 93206 Saint-Denis, FRANCE),
— campus de Bobigny (74 rue Marcel Cachin 93017 Bobigny, FRANCE),
— campus de la …
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