2013-07-11Plateforme de diffusion, recuit de niobate de lithium et oxydation de silicium (Délégation Centre-Est du CNRS)
L'équipement souhaité permettra de compléter la gamme des moyens de micro-fabrication disponibles à la centrale de technologie Mimento de l'Institut FEMTO-ST. Cet équipement sera dédié aux recherches technologiques concernant la fabrication de guides d'ondes optiques optimisés sur niobate de lithium et à l'oxydation de wafer silicium. Il s'agit d'un four à plusieurs étages remplissant les fonctions :
– diffusion de titane dans le niobate de lithium à des températures allant jusqu'à 1080°C sous flux de O2 …
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