Plateforme de diffusion, recuit de niobate de lithium et oxydation de silicium
Délégation Centre-Est du CNRS
L'équipement souhaité permettra de compléter la gamme des moyens de micro-fabrication disponibles à la centrale de technologie Mimento de l'Institut FEMTO-ST. Cet équipement sera dédié aux recherches technologiques concernant la fabrication de guides d'ondes optiques optimisés sur niobate de lithium et à l'oxydation de wafer silicium. Il s'agit d'un four à plusieurs étages remplissant les fonctions :
– diffusion de titane dans le niobate de lithium à des températures allant jusqu'à 1080°C sous flux de O2 barbotant dans H2O à 80°C,
– recuit de niobate de lithium après échange protonique à des températures de l'ordre de 350°C.
– oxydation de silicium à des températures pouvant aller jusqu'à 1150°C, avec ou sans vapeur d'eau.
Les recuits, diffusions peuvent concerner aussi bien des wafers 3 et 4 pouces que des échantillons de quelques mm2, pour l'oxydation du silicium le tube devra aussi accepter des wafers de 150mm.
La diffusion s'effectue avec des flux de gaz (O2 barbotant dans H2O) pour éviter l'exodiffusion du lithium.
Le délai de réception des offres était de 2013-08-28. L'appel d'offres a été publié le 2013-07-11.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ?| Date | Document |
|---|---|
| 2013-07-11 | Avis de marché |
| 2013-10-07 | Avis d'attribution de marché |
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fours et accessoires
Quantité ou étendue:
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Fours et accessoires 📦
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: Délégation Centre-Est du CNRS
Adresse postale: 17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandoeuvre-lès-Nancy
Contact
Adresse Internet: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/ 🌏
Courrier électronique: achats@dr6.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 383856077 📞
Fax: +33 383856058 📠
Référence
Dates
Date d'envoi: 2013-07-11 📅
Date limite de soumission: 2013-08-28 📅
Date de publication: 2013-07-16 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2013/S 136-235669
Numéro JO-S: 136
Informations complémentaires
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Description des options:
Numéro de référence: Aoo - plateforme de diffusion - femto
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:
Procédure
Période de validité de l'offre: 120 jours
Langues
Langue: français 🗣️
Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Karen Perroud
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: Aoo - plateforme de diffusion - femto
Informations complémentaires
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Nancy
Adresse postale: n°38, 5 place Carrière
Commune postale: Nancy
Code postal: 54036
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 383174343 📞
Fax: +33 383174350 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Source: OJS 2013/S 136-235669 (2013-07-11)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 189 900 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: Délégation Centre Est du CNRS
Commune postale: Vandœuvre-lès-Nancy
Référence
Dates
Date d'envoi: 2013-10-07 📅
Date de publication: 2013-10-10 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2013/S 197-340460
Se réfère à l'avis: 2013/S 136-235669
Numéro JO-S: 197
Informations complémentaires
Option non retenue
Objet
Champ d'application du marché
Numéro de référence: 2013125 - PLATEFORME DE DIFFUSION - FEMTO
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Performances techniques appréciées au regard du CCP (35)
2. Prix du système (35)
3. Maintenance et support technique (25)
4. Démarche environnementale de l'entreprise (5)
Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2013-09-30 📅
Nom: AET Technologies
Adresse postale: 8 chemin de Malacher Inovallee
Commune postale: Meylan
Code postal: 38240
Pays: France 🇫🇷
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 1
Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de nancy
Source: OJS 2013/S 197-340460 (2013-10-07)
- Machines industrielles (>20 nouveaux marchés)