Microscopes ioniques

CEA/Grenoble

Intitulé attribué au marché par le pouvoir adjudicateur: Equipements permettant la profilométrie des éléments chimiques à l’échelle nanométrique. Le CEA-Grenoble souhaite, dans le cadre de la Plateforme de Nano-Caractérisation de MINATEC, faire l’acquisition d’une sonde atomique tomographique et d’une sonde ionique. Ces équipements seront utilisés de façon complémentaire pour la réalisation des programmes de recherches en nanosciences, nouvelles technologies de l’énergie, et en micro- et nanotechnologies avancées. Le marché est divisé en deux (2) lots décrits ci-dessous : — Lot n°1 : Sonde atomique tomographique. La caractéristique principale de la sonde atomique est de permettre la reconstruction en trois dimensions, atome par atome, d’un échantillon en forme d’aiguille avec un champ de vu et une résolution en masse suffisants pour caractériser des dispositifs électroniques de nouvelles générations sub-22/32 nm. Les applications envisagées sont les suivantes : — Cartographie des dopants avec résolution atomique en trois dimensions dans les dispositifs pour la micro et nano électronique et le photovoltaïque, — Etude des empilements de grille et de contact pour les dispositifs électronique de nouvelles générations sub-22/32 nm, — Profilométrie chimique de nano-objets ou de nanostructures, — Lot n°2 : Sonde ionique. La caractéristique principale de la sonde ionique est de permettre la profilométrie rapide (supérieure à 2,5 nm/min dans le silicium) avec une résolution en profondeur inférieure au 1 nm/décade ce qui est nécessaire pour caractériser, entre autres, les implantations ultrabasses énergies utilisées dans les dispositifs électroniques de nouvelles générations sub-22/32 nm. Les applications envisagées sont les suivantes : — Profilométrie des dopants avec résolution sub-nanométrique en profondeur dans les dispositifs pour la micro et nano électronique et le photovoltaïque, — Etude des empilements de grilles et de contacts pour les dispositifs électroniques de nouvelles générations sub-22/32 nm, — Profilométrie chimique des empilements des couches ultraminces pour les micro et nanotechnologies. Ces équipements seront installés sur la Plate-forme de Nano-Caractérisation au sein des bâtiments de MINATEC. Les variantes tant techniques que financières sont autorisées par le CEA. Le CEA se réserve la possibilité d’attribuer un ou tous les lots à un ou plusieurs fournisseurs.

Le délai de réception des offres était de 2009-09-15. L'appel d'offres a été publié le 2009-07-25.

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