Fourniture, installation, mise en service et formation d’un bâti de dépôt de films minces métalliques par évaporation sous vide par canons à électrons pour le C2N CNRS
L’équipement sera dédié à la réalisation de films minces métalliques. Le système devra permettre le dépôt de 6 matériaux différents (or, platine, chrome, titane, germanium, aluminium par exemple). Un système de gravure in-situ permettra la gravure de quelques nanomètres de profondeur de surface semi-conductrice et également le retrait des traces résiduelles de résine lors de procédé de lift-off. L’homogénéité et la reproductibilité du système de gravure est un des points importants de l’équipement. Le système sera prévu pour un usage en salle blanche de classe ISO6 (classe 1000).
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2023-10-23.
L'appel d'offres a été publié le 2023-09-07.
Avis de marché (2023-09-07) Objet Champ d'application du marché
Titre: Système de dépôt
Numéro de référence: 23029 C2N
Brève description:
“L’équipement sera dédié à la réalisation de films minces métalliques. Le système devra permettre le dépôt de 6 matériaux différents (or, platine, chrome,...”
Brève description
L’équipement sera dédié à la réalisation de films minces métalliques. Le système devra permettre le dépôt de 6 matériaux différents (or, platine, chrome, titane, germanium, aluminium par exemple). Un système de gravure in-situ permettra la gravure de quelques nanomètres de profondeur de surface semi-conductrice et également le retrait des traces résiduelles de résine lors de procédé de lift-off. L’homogénéité et la reproductibilité du système de gravure est un des points importants de l’équipement. Le système sera prévu pour un usage en salle blanche de classe ISO6 (classe 1000).
Afficher plus Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Système de dépôt📦 Lieu d'exécution
Région NUTS: Essonne🏙️
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: Centre National de la Recherche Scientifique
Adresse postale: Avenue de la Terrasse
Code postal: 91190
Commune postale: Gif sur Yvette
Contact
Adresse Internet: http://www.cnrs.fr🌏
Courrier électronique: dr04.achats@cnrs.fr📧
Téléphone: +33 169823285📞
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr🌏
Référence Dates
Date d'envoi: 2023-09-07 📅
Date limite de soumission: 2023-10-23 📅
Date de publication: 2023-09-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 175-549371
Numéro JO-S: 175
Informations complémentaires
“Une prestation supplémentaire éventuelle obligatoire n°1 que le C2N/CNRS s’est réservé le droit d’accepter ou de refuser avant la signature du marché. Cette...”
Une prestation supplémentaire éventuelle obligatoire n°1 que le C2N/CNRS s’est réservé le droit d’accepter ou de refuser avant la signature du marché. Cette PSE consiste à fournir un système de chauffage du porte substrat qui permet d’atteindre 700°C avec un porte substrat adapté.
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Source: OJS 2023/S 175-549371 (2023-09-07)
Avis d'attribution de marché (2023-11-13) Objet Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Critères d'attribution
Prix le plus bas
Référence Dates
Date d'envoi: 2023-11-13 📅
Date de publication: 2023-11-17 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2023/S 222-697011
Se réfère à l'avis: 2023/S 175-549371
Numéro JO-S: 222
Source: OJS 2023/S 222-697011 (2023-11-13)