Description du marché
Fonctionnalités et caractéristiques techniques souhaitées
Système automatisé de dépôt par évaporation thermique avec 3 creusets dont deux inorganiques et un organique – pression de base 10-7 mbar.
Les sources peuvent être allumées de façon séquentiel (pas de co-évaporation)
Le porte échantillon doit être compatible avec des échantillons jusqu’à 4 pouces et doit permettre la fixation d’autre support d’échantillon.
La régulation du dépôt doit pouvoir se faire soit par contrôle de la puissance de chauffage, soit par la température du creuset.
L’évaporateur doit être interface avec une boite à gant qui pourra au choix être une nouvelle boite à gant (cf article 3.2 Variante) ou compatible avec le modèle existant (offre de base) (modèle Jacomex GP concept, voir les contraintes ci-dessous)
L’évaporateur doit inclure un système de pilotage pour l’automatisation du processus de dépôt (hors transfert depuis la boite à gant). Cela inclut le contrôle du pompage, de la rotation de l’échantillon, des différents shutter et du chauffage des creusets.
Le système de pilotage doit également permettre le monitoring de la pression interne et contrôle le démarrage des différentes pompes
Le porte échantillon de l’évaporateur doit permettre la rotation de l’échantillon pendant le dépôt et le refroidissement de l’échantillon
L’évaporateur doit inclure un système de mesure de l’épaisseur du dépôt qui en plus de mesurer doit être automatiser pour contrôler l’ouverture des clapets sources et échantillons.
Afin de rendre l’instrument compatible avec les mesure effectues dans la même pièce, le logiciel d’interfaçage, doit permettre de pouvoir arrêter/redémarrer les pompes (primaire et turbo) tour en conservant le bâti sous vide statique (ce dernier pouvant être dégradé par rapport à la situation sous vide dynamique.
Au titre de la variante, les fonctionnalités et performances souhaitées de la boite à gant sont les suivantes :
• Au minimun trois gants pour la manipulation, pour maintenir un espace de manipulation à côté de l’évaporateur
• Doit permettre un fonctionnement autour de 1 ppm en O2 et 1 ppm en H2O
• Doit inclure deux sas d’entrée un petit (diamètre autour de 16 cm) pour la routine et un plus large (diamètre autour de 36 cm) pour les entrées de gros matériels.
• Une procédure de flush doit être proposée
• Doit être alimenté en azote avec une pression comprise entre 1 et 6 bars
L’ensemble des autres spécifications des documents de la consultation constituent les exigences minimales que les variantes doivent respecter.
Le nombre d’offres variantes est limité à : 3
Deux (2) prestations supplémentaires éventuelles (PSE) sont proposées :
PSE n°1 : Maintenance à l’issue de la garantie
PSE n°2 : Des liners de protections pour limiter la contamination de la chambre