Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
CNRS Délégation Paris-Centre
L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.
Date limiteLe délai de réception des offres était de 2025-09-15. L'appel d'offres a été publié le 2025-07-24.
FournisseursLes fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?- • Ile-de-France › Paris
- • Luxembourg › Luxembourg
| Date | Document |
|---|---|
| 2025-07-24 | Avis de marché |
| 2025-11-18 | Avis d'attribution de marché |
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Numéro de référence: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP
Brève description:
“L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) 📦
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Description
Identifiant interne: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP
Titre: Acquisition, livraison et mise en service d’un équipement de gravure plasma de type ICP-RIE au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME) ✅
Description du marché:
“L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de...”
Informations complémentaires:
“Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur :...”
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) 📦
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Paris 🏙️
Durée de l'accord: 12 (MONTH)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère n°1 : Valeur technique
Critère de qualité (pondération): 55
Critère de coût (nom): Critère n°2 : Prix
Critère de coût (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Critère n°3 : Délai d'exécution
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Critère n°4: Démarche environnementale
Critère de qualité (pondération): 10
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
“« Aucune caution, ni garantie ne sont exigées Financement sur le budget de l’établissement. Prix ferme pour la prestation. Paiement à 30 jours conformément...”
Adresse postale: UMR7588 - Institut des NanoSciences de Paris (INSP),
Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie,
4, Place de Jussieu
Code postal: 75005
Ville: Paris
Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Principales caractéristiques de la procédure et informations sur l'endroit où obtenir les règles complètes applicables à la procédure:
“Article R2142-1 : Les conditions de participation à la procédure de passation relatives aux capacités du candidat mentionnées à l'article L. 2142-1, ainsi...”
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-09-15 12:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.”
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 3
Conditions de passation du marché
Informations complémentaires:
“L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.”
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Facturation électronique: Requise
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (points, valeur exacte)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Cnrs delegation paris-centre
Numéro d'enregistrement national: 18008901303282
Adresse postale: 16 rue Pierre et Marie Curie
Code postal: 75005
Commune postale: Paris
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Pôle Achats
Courrier électronique: marchesdr2@dr2.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 142349400 📞
URL: http://www.cnrs.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2822143&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/ 🌏
Soumission par voie électronique: Requise
Informations complémentaires
Informations complémentaires
“La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires.”
Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: CCIRA de Paris
Numéro d'enregistrement national: 17750000600024
Adresse postale: Préfecture de la région Île-de-France - Préfecture de Paris
Direction des affaires juridiques
5, rue Leblanc
Code postal: 75911
Commune postale: PARIS Cedex 15
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ccira@paris-idf.gouv.fr 📧
Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Paris
Numéro d'enregistrement national: 177 500 055 00013
Adresse postale: 7 rue de Jouy
Code postal: 75181
Commune postale: PARIS CEDEX 04
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-paris@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 144594400 📞
Fax: +33 144594646 📠
URL: http://paris.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal Administratif de Paris
Numéro d'enregistrement national: 177 500 055 00013
Adresse postale: 7 rue de Jouy
Code postal: 75181
Commune postale: PARIS CEDEX 04
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-paris@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 144594400 📞
Fax: +33 144594646 📠
URL: http://paris.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“« Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces...”
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Notice information
Date souhaitée de publication de l'avis: 2025-07-28Z 📅
Source: OJS 2025/S 142-491843 (2025-07-24)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 611 830 EUR 💰
Description
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: 2030638
Date de conclusion du contrat: 2025-11-14 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 613 830 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: Offre de PLASMA THERM EUROPE
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Plasma therm europe
Nom et adresse du contractant
Nom: Plasma therm europe
Numéro d'enregistrement national: 45341369200030
Adresse postale: 266 chemin des Franques
Code postal: 38190
Commune postale: Bernin
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: contact@corial.com 📧
Téléphone: 04 76 01 10 10 📞
Taille de l’opérateur économique: Moyenne
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS Délégation Paris-Centre
Informations complémentaires
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“« Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces...”
Source: OJS 2025/S 223-767196 (2025-11-18)
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