Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)

CNRS Délégation Paris-Centre

L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2025-09-15. L'appel d'offres a été publié le 2025-07-24.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2025-07-24 Avis de marché
2025-11-18 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2025-07-24)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Numéro de référence: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP
Brève description:
L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) 📦
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Description
Identifiant interne: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP
Titre: Acquisition, livraison et mise en service d’un équipement de gravure plasma de type ICP-RIE au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME) ✅
Informations complémentaires:
Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2822143&orgAcronyme=f2h. Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Le candidat peut transmettre au CNRS une copie de sauvegarde physique avec la mention suivante « Copie de sauvegarde - NE PAS OUVRIR » Procédure n°2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP et à l'adresse suivante : CNRS Délégation Paris-Centre - SFC – Pôle Achats -16, rue Pierre et Marie Curie - 75005 PARIS
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Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Paris 🏙️
Durée de l'accord: 12 mois
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère n°1 : Valeur technique
Critère de qualité (pondération): 55
Critère de coût (nom): Critère n°2 : Prix
Critère de coût (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Critère n°3 : Délai d'exécution
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Critère n°4: Démarche environnementale
Critère de qualité (pondération): 10
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
« Aucune caution, ni garantie ne sont exigées Financement sur le budget de l’établissement. Prix ferme pour la prestation. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Son montant sera égal à 30% du montant TTC du marché. Paiement après service fait . Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.
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Adresse postale: UMR7588 - Institut des NanoSciences de Paris (INSP),
Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie,
4, Place de Jussieu
Code postal: 75005
Ville: Paris

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte ✅
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Principales caractéristiques de la procédure et informations sur l'endroit où obtenir les règles complètes applicables à la procédure:
Article R2142-1 : Les conditions de participation à la procédure de passation relatives aux capacités du candidat mentionnées à l'article L. 2142-1, ainsi que les moyens de preuve acceptables, sont indiqués par l'acheteur dans les documents de la consultation.
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Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2025-09-15 12:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 3 mois
Conditions de passation du marché
Informations complémentaires:
L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.
Facturation électronique: Requise
Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (points, valeur exacte)

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Cnrs delegation paris-centre
Numéro d'enregistrement national: 18008901303282
Adresse postale: 16 rue Pierre et Marie Curie
Code postal: 75005
Commune postale: Paris
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Pôle Achats
Courrier électronique: marchesdr2@dr2.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 142349400 📞
URL: http://www.cnrs.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2822143&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/ 🌏
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Informations complémentaires
La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires.
Organisme responsable des procédures de médiation
Nom: CCIRA de Paris
Numéro d'enregistrement national: 17750000600024
Adresse postale: Préfecture de la région Île-de-France - Préfecture de Paris
Direction des affaires juridiques
5, rue Leblanc
Code postal: 75911
Commune postale: PARIS Cedex 15
Région: Paris 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: ccira@paris-idf.gouv.fr 📧
Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Paris
Numéro d'enregistrement national: 177 500 055 00013
Adresse postale: 7 rue de Jouy
Code postal: 75181
Commune postale: PARIS CEDEX 04
Courrier électronique: greffe.ta-paris@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 144594400 📞
Fax: +33 144594646 📠
URL: http://paris.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Identique à : Organe de révision
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
« Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat ».
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Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Informations sur l’avis
Date souhaitée de publication de l'avis: 2025-07-28Z 📅
Source: OJS 2025/S 142-491843 (2025-07-24)
Avis d'attribution de marché (2025-11-18)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur estimée hors TVA: 530 000 EUR 💰
Valeur totale du marché (hors TVA): 611 830 EUR 💰

Attribution du marché
Un contrat/lot est attribué ✅
Numéro d'identification du lot: LOT-0001
Numéro de contrat: 2030638
Date de conclusion du contrat: 2025-11-14 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale du contrat/lot: 613 830 EUR 💰
L’offre a été classée
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
Identifiant de l’offre: Offre de PLASMA THERM EUROPE
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Informations sur les appels d'offres
Nom de la partie soumissionnaire: Plasma therm europe
Nom et adresse du contractant
Nom: Plasma therm europe
Numéro d'enregistrement national: 45341369200030
Adresse postale: 266 chemin des Franques
Code postal: 38190
Commune postale: Bernin
Région: Isère 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: contact@corial.com 📧
Téléphone: 04 76 01 10 10 📞
Taille de l’opérateur économique: Moyenne

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS Délégation Paris-Centre

Informations complémentaires
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
« Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat ». ----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la jurisprudence du Conseil d’État (Conseil d'État, Assemblée, Département du Tarn et Garonne, 04/04/2014,n°358994). Le contrat sera consultable dans le respect des secrets protégés par les dispositions du livre III du code des relations entre le public et l’administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par mail ou courrier au Pôle Achats du Service Financier et Comptable de la délégation Paris-Centre, et uniquement sur prise de rendez vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site. »
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Source: OJS 2025/S 223-767196 (2025-11-18)
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Région:
France Ile-de-France Ile-de-France Paris