Fourniture de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de laboratoires CNRS

CNRS - Délégation Occitanie Ouest

La présente consultation a pour objet l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE). La consultation est découpée en trois (3) lots : - Le LOT N° 1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS, - LOT N° 2 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) avec fourniture du module ALE et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte du LAAS- CNRS, - LOT N°3 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service de trois (3) machines neuves de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) (Département ESSONNE France) pour le compte de C2N-CNRS et I.FOTON-CNRS (répartition : Deux (2) machines pour C2N-CNRS et Une (1) machine pour I. FOTON-CNRS). Les spécifications techniques sont précisées dans le Cahier des Charges Techniques et Particulières (CCTP) propre à chaque lot. Chaque lot est un accord-cadre mono-attributaire à bons de commande. Les lots 1 et 2 comprennent l'acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de la machine et un contrat annuel de maintenance pour l'équipement principal et un contrat annuel de maintenance pour l'interféromètre (PSE 1 du lot 1). Concernant le lot n° 3 : L’accord-cadre s’exécute exclusivement au moyen de bon de commande. Par bons de commande, peuvent être commandé : o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP1 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de I. FOTON-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP1 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP2 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande : Contrat annuel de maintenance pour l’équipement pour le compte de I.FOTON- CNRS Des prestations supplémentaires éventuelles (PSE) facultatives sont prévues pour le lot n° 1 et lot n°3. Chaque accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le marché s’inscrit au sein du projet d’investissement des plateformes technologiques dans le cadre du programme PEPR Electronique et au sein du projet RENATECH. Concernant les lieux de livraison / exécution (cf. article 5 "lot" du présent avis). Le lieu de livraison/exécution diffère selon les lots. Le lot n°3 a deux lieux de livraison/exécution.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2024-07-25. L'appel d'offres a été publié le 2024-06-04.

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Historique des marchés publics
Date Document
2024-06-04 Avis de marché
Avis de marché (2024-06-04)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de laboratoires CNRS
Numéro de référence: 24.14.001
Brève description:
“La présente consultation a pour objet l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de machines...”    Afficher plus
Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Système de dépôt 📦
Valeur estimée hors TVA: 1 240 000 EUR 💰
Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots
Nombre maximal de lots pouvant être attribués à un soumissionnaire: 3
Les offres peuvent être présentées pour un nombre maximal de lots: 3

1️⃣
Description du marché:
“Le lot n° 1 a pour objet la fourniture, l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service, les formations et la garantie de vingt-quatre (24)...”    Afficher plus
Informations complémentaires:
“La valeur estimée correspond à la commande de l'ICP-RIE (hors PSE n°1). Pour chaque lot : le prix des équipements est ferme, et le prix des contrats de...”    Afficher plus
Site principal ou lieu d'exécution:
“Dans le cadre de la consultation, une visite des locaux du C2N est obligatoire”
Lieu d'exécution: Essonne 🏙️
Durée de l'accord: 6 (YEAR)
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre d'années.
Informations sur les options
Options
Description des options:
“Le lot 1 comporte une Prestation Supplémentaire Eventuelle (PSE) facultative dont l'objet est : Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé en sous-critères : Sous-critère n° 1 : Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants : sas de transfert, système de chauffage et de refroidissement et système d’injection des gaz (30%), Sous-critère n° 2 : Appréciation des performances des systèmes de génération du plasma et de polarisation du substrat (20%), Sous-critère n° 3 : Appréciation des performances des systèmes de pompage du générateur et du SAS (20%), Sous-critère n° 4 : Appréciation des process de gravure selon les gaz et matériaux indiqués dans le CCTP (20%), Sous-critère n°5 : Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel (10%)
Critère de qualité (pondération): 50
Prix
Prix (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Démarche environnementale
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Délai global d’exécution (partie globale et forfaitaire)
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Appréciation de l’offre en matière de Service après-vente (SAV)
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

2️⃣
Description du marché:
“Le lot n° 2 a pour objet a fourniture, l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service, les formations et la garantie de vingt-quatre (24)...”    Afficher plus
Informations complémentaires:
“La valeur estimée correspond à la commande de l'ICP-RIE avec ALE. Pour chaque lot : le montant de la partie globale et forfaitaire est ferme, et les prix...”    Afficher plus
Lieu d'exécution: Haute-Garonne 🏙️
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé comme suit : Sous-critère n° 1 : Appréciation du système d'ouverture du réacteur (20%), Sous-critère n° 2 : Appréciation du système d'ouverture du sas de transfert (10%), Sous-critère n° 3 : Appréciation de l'évolutivité de la machine de gravure (10%), Sous-critère n° 4 : Appréciation des performances de l'éllipsomètre (40%), Sous-critère n°5 : Appréciation des performances de l'interféromètre (10%), Sous-critère n° 6 : Appréciation des performances du spectromètre d’émission optique (10%)
Prix (pondération): 35
Critère de qualité (nom): Délai global d’exécution (partie globale et forfaitaire)
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0002

3️⃣
Description du marché:
“Le lot n° 3 a pour objet la fourniture, la livraison, l’installation, la mise en service, la formation et la garantie de vingt-quatre (24) mois des...”    Afficher plus
Informations complémentaires:
“La valeur estimée correspond à l'achat des 3 machines CCP-RIE. Le prix des matériels est ferme, et le prix des contrats de maintenance sont révisables....”    Afficher plus
Lieu d'exécution: Extra-Regio NUTS 3 🏙️
Informations sur les options
Description des options:
“Le lot n° 3 comprend trois Prestations Supplémentaires Eventuelles : - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n° 1) facultative dont...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé comme suit : Sous-critère n° 1 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants : systèmes de chauffage et de refroidissement, système d’injection des gaz (15%), Sous-critère n° 2 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances des systèmes de génération du plasma (10%), Sous-critère n° 3 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - : Appréciation des performances des systèmes de pompage du réacteur (10%), Sous-critère n° 4 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des process de gravure selon les gaz et matériaux indiqués dans le CCTP (10%), Sous-critère n° 5 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel de pilotage (5%), Sous-critère n° 6 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants: sas de chargement, systèmes de chauffage/refroidissement, système d’injection des gaz (15%), Sous-critère n° 7 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances du système de génération du plasma (10%), Sous-critère n° 8 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances des systèmes de mesures de pression et des systèmes de pompage (réacteur et sas de chargement) (10%), Sous-critère n° 9 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation de l’évolutivité de la machine et des process de gravure selon les indications fournies dans le CCTP (10%), Sous-critère n° 10 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel de pilotage (5%)
Critère de qualité (nom): Critère Démarche environnementale
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0003

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-07-25 14:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
“L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.”
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 5
Informations sur un accord-cadre ou un système d'acquisition dynamique
Accord-cadre avec plusieurs opérateurs
Description
Dans le cas d'accords-cadres, justifier toute durée supérieure à 4 ans:
“Par dérogation à l'article L2125-1 du Code de la commande publique et en raison de la technicité de l'équipement, la maintenance ne pourra être ouverte dans...”    Afficher plus

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:
“cf. Règlement de la consultation n°24000 - pas de critères minimums.”
Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection:
“cf. Règlement de la consultation n°24000 - pas de critères minimums.”

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS - Délégation Occitanie Ouest
Numéro d'enregistrement national: 18008901300676
Adresse postale: 16, avenue Edouard Belin BP 24367
Code postal: 31055
Commune postale: Toulouse
Région: Haute-Garonne 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: karine.michel@cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 561336100 📞
Fax: +33 562172901 📠
URL: https://www.cnrs.fr/fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h 🌏

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Des prestations supplémentaires éventuelles (PSE) facultatives sont prévues pour le lot n° 1 et le lot n°3.”
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif Toulouse
Numéro d'enregistrement national: 17310005800010
Adresse postale: 68 rue Raymond IV
Code postal: 31068
Commune postale: Toulouse
Région: Haute-Garonne 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-toulouse@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 562735757 📞
Fax: +33 562735740 📠
URL: http://toulouse.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces...”    Afficher plus
Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2024/S 108-332755 (2024-06-04)