Fourniture de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de laboratoires CNRS

CNRS - Délégation Occitanie Ouest

La présente consultation a pour objet l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE). La consultation est découpée en trois (3) lots : - Le LOT N° 1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS, - LOT N° 2 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) avec fourniture du module ALE et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte du LAAS- CNRS, - LOT N°3 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service de trois (3) machines neuves de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) (Département ESSONNE France) pour le compte de C2N-CNRS et I.FOTON-CNRS (répartition : Deux (2) machines pour C2N-CNRS et Une (1) machine pour I. FOTON-CNRS). Les spécifications techniques sont précisées dans le Cahier des Charges Techniques et Particulières (CCTP) propre à chaque lot. Chaque lot est un accord-cadre mono-attributaire à bons de commande. Les lots 1 et 2 comprennent l'acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de la machine et un contrat annuel de maintenance pour l'équipement principal et un contrat annuel de maintenance pour l'interféromètre (PSE 1 du lot 1). Concernant le lot n° 3 : L’accord-cadre s’exécute exclusivement au moyen de bon de commande. Par bons de commande, peuvent être commandé : o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP1 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de I. FOTON-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP1 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP2 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande : Contrat annuel de maintenance pour l’équipement pour le compte de I.FOTON- CNRS Des prestations supplémentaires éventuelles (PSE) facultatives sont prévues pour le lot n° 1 et lot n°3. Chaque accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le marché s’inscrit au sein du projet d’investissement des plateformes technologiques dans le cadre du programme PEPR Electronique et au sein du projet RENATECH. Concernant les lieux de livraison / exécution (cf. article 5 "lot" du présent avis). Le lieu de livraison/exécution diffère selon les lots. Le lot n°3 a deux lieux de livraison/exécution.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2024-07-25. L'appel d'offres a été publié le 2024-06-04.

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Historique des marchés publics
Date Document
2024-06-04 Avis de marché
Avis de marché (2024-06-04)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Fourniture de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de laboratoires CNRS
Numéro de référence: 24.14.001
Brève description:
La présente consultation a pour objet l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de machines neuves de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et à couplage capacitif (CCP-RIE). La consultation est découpée en trois (3) lots : - Le LOT N° 1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS, - LOT N° 2 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) avec fourniture du module ALE et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte du LAAS- CNRS, - LOT N°3 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service de trois (3) machines neuves de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) (Département ESSONNE France) pour le compte de C2N-CNRS et I.FOTON-CNRS (répartition : Deux (2) machines pour C2N-CNRS et Une (1) machine pour I. FOTON-CNRS). Les spécifications techniques sont précisées dans le Cahier des Charges Techniques et Particulières (CCTP) propre à chaque lot. Chaque lot est un accord-cadre mono-attributaire à bons de commande. Les lots 1 et 2 comprennent l'acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service et la garantie de vingt-quatre (24) mois de la machine et un contrat annuel de maintenance pour l'équipement principal et un contrat annuel de maintenance pour l'interféromètre (PSE 1 du lot 1). Concernant le lot n° 3 : L’accord-cadre s’exécute exclusivement au moyen de bon de commande. Par bons de commande, peuvent être commandé : o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP1 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de I. FOTON-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP1 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP2 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande : Contrat annuel de maintenance pour l’équipement pour le compte de I.FOTON- CNRS Des prestations supplémentaires éventuelles (PSE) facultatives sont prévues pour le lot n° 1 et lot n°3. Chaque accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le marché s’inscrit au sein du projet d’investissement des plateformes technologiques dans le cadre du programme PEPR Electronique et au sein du projet RENATECH. Concernant les lieux de livraison / exécution (cf. article 5 "lot" du présent avis). Le lieu de livraison/exécution diffère selon les lots. Le lot n°3 a deux lieux de livraison/exécution.
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Type de contrat: Fournitures
Produits/services: Système de dépôt 📦
Valeur estimée hors TVA: 1 240 000 EUR 💰
Nature complémentaire du marché: Services
Informations sur les lots
Ce contrat est divisé en lots
Nombre maximal de lots pouvant être attribués à un soumissionnaire: 3
Les offres peuvent être présentées pour un nombre maximal de lots: 3

1️⃣
Identifiant interne: LOT1
Titre: LOT1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS selon les spécifications techniques indiquées dans le CCTP n°24002.
Valeur estimée hors TVA: 320 000 EUR 💰
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME)
Description du marché:
Le lot n° 1 a pour objet la fourniture, l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service, les formations et la garantie de vingt-quatre (24) mois d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif pour le compte du C2N-CNRS Le lot est un (1) accord-cadre mono-attributaire qui s'exécute à bons de commande uniquement. Le lot 1 comporte une Prestation Supplémentaire Eventuelle (PSE) facultative dont l'objet est : Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois. L’accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le minimum de l’accord-cadre correspond à la Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS » (voir CCTP n°24001) (hors PSE n°1) Le maximum de l’accord-cadre correspond à : - la Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS », - la prestation supplémentaire éventuelle (PSE) n°1, - trois (3) ans de contrat de maintenance Le lieu d'exécution pour le lot 1 est : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N)-CNRS 10 Boulevard Thomas Gobert 91120 PALAISEAU.
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Informations complémentaires:
La valeur estimée correspond à la commande de l'ICP-RIE (hors PSE n°1). Pour chaque lot : le prix des équipements est ferme, et le prix des contrats de maintenance est révisable. Pour chaque lot, le paiement est à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Clauses de financement (cf. CCAP n°24001) : LOT 1 : Partie globale et forfaitaire Avance de 15% Acompte n° 1 de 10 % à la validation de la pré-réception (étape 1 des opérations de vérification) Acompte n° 2 de 60 % à la validation de la réception provisoire (étape 2 des opérations de vérification) - récupération de l'avance sur l'acompte n°2 Solde à l'admission définitive LOT 1 : contrat de maintenance. Paiement annuel terme à échoir. Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Conditions de la remise de la copie de sauvegarde est adressée par voie postale : voir article 10.2 du Règlement de la consultation n°24000. Le CNRS se réserve la possibilité, conformément aux dispositions de l'article R.2161­4 du code de la commande publique, d'examiner les offres avant les candidatures. La visite de site est obligatoire, avec inscription préalable obligatoire. Voir article V du Règlement de la consultation.
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Critères marchés publics écologiques: Critères applicables aux marchés publics écologiques nationaux
Site principal ou lieu d'exécution: Dans le cadre de la consultation, une visite des locaux du C2N est obligatoire
Adresse postale: Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N)-CNRS
10 Boulevard Thomas Gobert
Code postal: 91120
Ville: Palaiseau
Pays: France 🇫🇷
Lieu d'exécution: Essonne 🏙️
Durée de l'accord: 6 années
Informations sur les options
Options
Description des options:
Le lot 1 comporte une Prestation Supplémentaire Eventuelle (PSE) facultative dont l'objet est : Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois.
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé en sous-critères : Sous-critère n° 1 : Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants : sas de transfert, système de chauffage et de refroidissement et système d’injection des gaz (30%), Sous-critère n° 2 : Appréciation des performances des systèmes de génération du plasma et de polarisation du substrat (20%), Sous-critère n° 3 : Appréciation des performances des systèmes de pompage du générateur et du SAS (20%), Sous-critère n° 4 : Appréciation des process de gravure selon les gaz et matériaux indiqués dans le CCTP (20%), Sous-critère n°5 : Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel (10%)
Critère de qualité (pondération): 50
Prix
Prix (pondération): 30
Critère de qualité (nom): Démarche environnementale
Critère de qualité (pondération): 10
Critère de qualité (nom): Délai global d’exécution (partie globale et forfaitaire)
Critère de qualité (pondération): 5
Critère de qualité (nom): Appréciation de l’offre en matière de Service après-vente (SAV)
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0001

2️⃣
Identifiant interne: LOT2
Titre: LOT2 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) avec fourniture du module ALE et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte du LAAS- CNRS
Valeur estimée hors TVA: 400 000 EUR 💰
Description du marché:
Le lot n° 2 a pour objet a fourniture, l’acquisition, la livraison, l’installation, la mise en service, les formations et la garantie de vingt-quatre (24) mois d’une machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif avec fourniture de procédé de gravure par couche atomique (ALE) pour le compte du LAAS-CNRS selon les spécifications techniques indiquées dans le CCTP n°24003. Le lot est un (1) accord-cadre mono-attributaire qui est exécuté à bons de commande uniquement. L’accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le minimum de l’accord-cadre est la commande de la machine ICP-RIE. Le maximum de l’accord-cadre est la commande de la machine ICP-RIE et trois (3) ans de contrat de maintenance. Le lieu d'exécution du lot 2 est : Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS-CNRS) 7 avenue Colonel Roche 31400 TOULOUSE
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Informations complémentaires:
La valeur estimée correspond à la commande de l'ICP-RIE avec ALE. Pour chaque lot : le montant de la partie globale et forfaitaire est ferme, et les prix unitaires de la partie à bons de commande est révisable. Pour chaque lot, le paiement est à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Clauses de financement (cf. CCAP n°24001) : LOT 2 : Partie globale et forfaitaire Avance de 15 % Acompte n°1 de 10 % à la validation de la pré-réception (étape 1 des opérations de vérification) Acompte n°2 de 60 % à la validation de la réception provisoire (étape 2 des opérations de vérification) - Récupération de l'avance est effectuée sur l'acompte n°2. Solde à l'admission définitive - récupération de l'avance sur le solde LOT 2 : Contrat de maintenance. Paiement annuel terme à échoir. Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Conditions de la remise de la copie de sauvegarde est adressée par voie postale : voir article 10.2 du Règlement de la consultation n°24000. Le CNRS se réserve la possibilité, conformément aux dispositions de l'article R.2161­4 du code de la commande publique, d'examiner les offres avant les candidatures. La visite de site est obligatoire, avec inscription préalable obligatoire. Voir article V du Règlement de la consultation.
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Méthode utilisée pour réduire l’incidence environnementale: L’atténuation du changement climatique
Adresse postale: Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS-CNRS)
7 avenue Colonel Roche
Code postal: 31400
Ville: Toulouse
Lieu d'exécution: Haute-Garonne 🏙️
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé comme suit : Sous-critère n° 1 : Appréciation du système d'ouverture du réacteur (20%), Sous-critère n° 2 : Appréciation du système d'ouverture du sas de transfert (10%), Sous-critère n° 3 : Appréciation de l'évolutivité de la machine de gravure (10%), Sous-critère n° 4 : Appréciation des performances de l'éllipsomètre (40%), Sous-critère n°5 : Appréciation des performances de l'interféromètre (10%), Sous-critère n° 6 : Appréciation des performances du spectromètre d’émission optique (10%)
Prix (pondération): 35
Critère de qualité (nom): Délai global d’exécution (partie globale et forfaitaire)
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0002

3️⃣
Identifiant interne: LOT3
Titre: LOT3 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service de trois (3) machines neuves de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS et I.FOTON-CNRS
Valeur estimée hors TVA: 520 000 EUR 💰
Description du marché:
Le lot n° 3 a pour objet la fourniture, la livraison, l’installation, la mise en service, la formation et la garantie de vingt-quatre (24) mois des équipements neufs listés ci-dessous : -Un (1) équipement neuf de gravure ionique réactive par couplage capacitif CCP-RIE pour le compte de C2N-CNRS nommé dans le présent document « CCP-RIE1 » -Un (1) équipement neuf de gravure ionique réactive par couplage capacitif CCP-RIE pour le compte de C2N-CNRS nommé dans le présent document « CCP-RIE2 » -Un (1) équipement neuf de gravure ionique réactive par couplage capacitif CCP-RIE pour le compte de I.FOTON-CNRS, Les spécifications techniques sont indiquées dans le CCTP n°24004. Le lot est un (1) accord-cadre mono-attributaire. L’accord-cadre s’exécute exclusivement au moyen de bon de commande. Par bons de commande, peuvent être commandés : o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP1 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de I. FOTON-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP1 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande :Contrat annuel de maintenance pour l’équipement RIECCP2 pour le compte de C2N-CNRS o Bon de commande : Contrat annuel de maintenance pour l’équipement pour le compte de I.FOTON- CNRS Le lot n° 3 comprend trois Prestations Supplémentaires Eventuelles : - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n° 1) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement CCP-RIE1 (C2N-CNRS) - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n° 2) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement CCP-RIE2 (C2N-CNRS) - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n°3) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement (I.FOTON) » L’accord-cadre est conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. Le minimum de l’accord-cadre est la commande des bons de commande « Equipements » suivants (hors PSE n°1, n°2, n°3) : o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP1 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de C2N-CNRS » o Bon de commande : « Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une machine neuve RIECCP2 de gravure ionique réactive à couplage capacitif (CCP-RIE) pour le compte de I. FOTON-CNRS » Le CNRS prévoit d’envoyer les trois (3) bons de commande au titulaire dans la semaine de notification de l’accord-cadre lot n°3. Le maximum de l’accord-cadre est : - La commande des 3 CCP-RIE, - Les Prestations Supplémentaires Eventuelles n°1, n°2, n°3, - Trois (3) ans de contrat de maintenance pour chacun des trois équipements (partie à bons de commande). Les lieux d'exécution pour le lot 3 sont : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies-CNRS 10 Boulevard Thomas Gobert 91120 PALAISEAU. Institut FOTON - INSA Rennes-CNRS 20 avenue des Buttes de Coësmes CS 70839 - 35 708 RENNES Cedex
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Informations complémentaires:
La valeur estimée correspond à l'achat des 3 machines CCP-RIE. Le prix des matériels est ferme, et le prix des contrats de maintenance sont révisables. Pour chaque lot, le paiement est à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Clauses de financement (cf. CCAP n°24001) : LOT 3 : Partie minimale - Equipement Pour chaque bon de commande "Equipement", le montant de l'avance correspond à 15 % du prix forfaitaire toutes taxes comprises du bon de commande « équipement » Pour chaque équipement : Acompte n° 1 de 10 % à la validation de la pré-réception (étape 1 des opérations de vérification) Acompte n° 2 de 60% à la validation de la réception provisoire (étape 2 des opérations de vérification) - récupération de l'avance sur l'acompte n°2 Solde à l'admission définitive. LOT 3 : Partie à bons de commande - contrat de maintenance. Paiement annuel terme à échoir. Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Conditions de la remise de la copie de sauvegarde est adressée par voie postale : voir article 10.2 du Règlement de la consultation n°24000. Le CNRS se réserve la possibilité, conformément aux dispositions de l'article R.2161­4 du code de la commande publique, d'examiner les offres avant les candidatures. La visite de site est obligatoire, avec inscription préalable obligatoire. Voir article V du Règlement de la consultation. Adresses de livraison: Pour les équipements CCP-RIE1 et CCP-RIE2 pour le compte de C2N-CNRS : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies-CNRS 10 Boulevard Thomas Gobert 91120 PALAISEAU. Pour l'équipement pour le compte de I.FOTON : Institut FOTON - INSA Rennes 20 avenue des Buttes de Coësmes CS 70839 - 35 708 RENNES Cedex
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Lieu d'exécution: Extra-Regio NUTS 3 🏙️
Informations sur les options
Description des options:
Le lot n° 3 comprend trois Prestations Supplémentaires Eventuelles : - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n° 1) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement CCP-RIE1 (C2N-CNRS) - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n° 2) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement CCP-RIE2 (C2N-CNRS) - La Prestation Supplémentaire Eventuelle facultative (PSE n°3) facultative dont l’objet est « Acquisition, livraison, installation, mise en service d’un interféromètre laser neuf et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour l’équipement (I.FOTON) »
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Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Critère Valeur technique décomposé comme suit : Sous-critère n° 1 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants : systèmes de chauffage et de refroidissement, système d’injection des gaz (15%), Sous-critère n° 2 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances des systèmes de génération du plasma (10%), Sous-critère n° 3 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - : Appréciation des performances des systèmes de pompage du réacteur (10%), Sous-critère n° 4 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des process de gravure selon les gaz et matériaux indiqués dans le CCTP (10%), Sous-critère n° 5 : Concernant les équipements CCPRIE1 et CCPRIE2 du C2N-CNRS - Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel de pilotage (5%), Sous-critère n° 6 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances du réacteur et des systèmes suivants: sas de chargement, systèmes de chauffage/refroidissement, système d’injection des gaz (15%), Sous-critère n° 7 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances du système de génération du plasma (10%), Sous-critère n° 8 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances des systèmes de mesures de pression et des systèmes de pompage (réacteur et sas de chargement) (10%), Sous-critère n° 9 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation de l’évolutivité de la machine et des process de gravure selon les indications fournies dans le CCTP (10%), Sous-critère n° 10 : Concernant l’équipement CCP RIE de l’I.FOTON - Appréciation des performances de l’ordinateur et du logiciel de pilotage (5%)
Critère Démarche environnementale
Titre
Numéro d'identification du lot: LOT-0003
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
Pour chaque lot, une visite des locaux est obligatoire. Les clauses de financement (avance, acompte(s), solde) pour chacun des lots sont précisées à l'article 5 "lot" du présent avis. Pour chaque lot, les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique. Chaque lot est un accord-cadre conclu avec un minimum et un maximum en quantité conformément à l’article R2162-4 1° du Code de la commande publique. La valeur estimée totale indiquée à l'article 2.1.3 du présent avis concerne l'estimation totale de la partie minimale du lot 1 (soit la commande de l'ICP-RIE (hors PSE n°1), du lot 2 (commande de 'ICP-RIE avec ALE), du lot 3 (commande des 3 CCP-RIE (hors PSE n°1, n°2, n°3). L'article 5 "lot" du présent avis précise pour chaque lot les quantités minimales et maximale de commandes.
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Adresse postale: 16, avenue Edouard Belin BP 24367
Code postal: 31055

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Base juridique: Directive 2014/24/UE
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2024-07-25 14:00:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture):
L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 5 mois
Informations sur un accord-cadre ou un système d'acquisition dynamique
Accord-cadre avec plusieurs opérateurs
Description
Dans le cas d'accords-cadres, justifier toute durée supérieure à 4 ans:
Par dérogation à l'article L2125-1 du Code de la commande publique et en raison de la technicité de l'équipement, la maintenance ne pourra être ouverte dans l’immédiat à des prestataires extérieurs, l'accord-cadre a une durée supérieure à 4 ans.
Informations sur un accord-cadre ou un système d'acquisition dynamique
Nombre maximal de candidats: 100
Conditions de passation du marché
Informations complémentaires:
L'ouverture des plis n'est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.
Facturation électronique: Requise
Une habilitation de sécurité est requise
Description:
En cas de marché ou accord-cadre pour lesquels les sites sont classés en Zone à Régime Restrictif (ZRR, article R.413 et suivants du code pénal, décret n°2011-1425 du 2 novembre 2011) Dans Habilitation de sécurité – description « Les conditions d'accès aux sites classés en Zone à Régime Restrictif (ZRR, article R.413 et suivants du code pénal, décret n°2011-1425 du 2 novembre 2011) font l'objet de dispositions particulières dans les documents de la consultation. À ce titre les candidats sont informés que le Titulaire du marché pourra être soumis aux procédures correspondantes d'autorisation préalables d'accès lorsque les prestations sont susceptibles de concerner les informations relevant de telles zones.
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Critères d'attribution
Type de pondération: Pondération (pourcentage, valeur exacte)

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection: cf. Règlement de la consultation n°24000 - pas de critères minimums.
Conditions de participation
Motif d'exclusion: Motifs d’exclusion purement nationaux
Description des motifs d'exclusion: Voir les documents de la consultation

Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CNRS - Délégation Occitanie Ouest
Numéro d'enregistrement national: 18008901300676
Adresse postale: 16, avenue Edouard Belin BP 24367
Code postal: 31055
Commune postale: Toulouse
Région: Haute-Garonne 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Point de contact: Karine Michel
Courrier électronique: karine.michel@cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 561336100 📞
Fax: +33 562172901 📠
URL: https://www.cnrs.fr/fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
Activité principale
Enseignement
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2556896&orgAcronyme=f2h 🌏
Soumission par voie électronique: Requise

Informations complémentaires
Informations complémentaires
Des prestations supplémentaires éventuelles (PSE) facultatives sont prévues pour le lot n° 1 et le lot n°3.
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif Toulouse
Numéro d'enregistrement national: 17310005800010
Département: Haute-Garonne
Adresse postale: 68 rue Raymond IV
Code postal: 31068
Commune postale: Toulouse
Région: Haute-Garonne 🏙️
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-toulouse@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 562735757 📞
Fax: +33 562735740 📠
URL: http://toulouse.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.
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Informations sur les flux de travail électroniques
La facturation électronique sera acceptée
Source: OJS 2024/S 108-332755 (2024-06-04)