Acquisition, installation, livraison et mise en service d'un dispositif de gravure ionique réactive utilisant des gaz fluorés pour le Centre de nanoscience et de nanotechnologies du CNRS

Centre national de la recherche scientifique

L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE (Inductively coupled plasma) utilisant des gaz fluorés et son raccordement aux servitudes et gaz. Ce réacteur sera dédié à la gravure du silicium, d’autres matériaux de la colonne IV (germanium, diamant...) des oxydes et des diélectriques. Le dispositif devra permettre de réaliser des gravures dans une gamme minimale de température allant de -20 ºC à + 80 ºC.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2020-03-04. L'appel d'offres a été publié le 2020-01-27.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Où ?

Historique des marchés publics
Date Document
2020-01-27 Avis de marché
2020-04-24 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2020-01-27)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: Centre national de la recherche scientifique
Numéro d'enregistrement national: 18008901300635
Adresse postale: avenue de la Terrasse
Commune postale: Gif-sur-Yvette
Code postal: 91190
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Margault Ménard
Téléphone: +33 169823285 📞
Courrier électronique: dr04.achats@cnrs.fr 📧
Région: Essonne 🏙️
URL: http://www.cnrs.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
Communication
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏
URL de participation: https://www.marches-publics.gouv.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre:
“Acquisition, installation, livraison et mise en service d'un dispositif de gravure ionique réactive utilisant des gaz fluorés pour le Centre de nanoscience...”    Afficher plus
Produits/services: Matériel de gravure sèche 📦
Brève description:
“L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE...”    Afficher plus
Valeur estimée hors TVA: EUR 320 000 💰

1️⃣
Lieu d'exécution: Ile-de-France 🏙️
Lieu d'exécution: Essonne 🏙️
Site principal ou lieu d'exécution:
“Centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N), 10 boulevard Thomas Gobert, 91120 Palaiseau.”
Description du marché:
“Il s'agira de l'acquisition, la livraison, l'installation et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Champ d'application du marché
Valeur totale estimée hors TVA: EUR 320 000 💰
Durée du contrat, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Description
Durée de l'accord: 30

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Liste et brève description des conditions:
“— soit le Document unique de marché européen (DUME) renseigné en ligne sur la plateforme PLACE, — soit une lettre de candidature établie à partir du...”    Afficher plus
Situation économique et financière
Liste et brève description des critères de sélection:
“— la déclaration du candidat établie à partir du formulaire DC2, joint au dossier de consultation, dûment renseigné par le candidat, — déclaration...”    Afficher plus
Capacité technique et professionnelle
Liste et brève description des critères de sélection:
“— une liste des principaux équipements fournis, représentatifs de la prestation objet du marché, au cours des 3 dernières années, indiquant le montant, la...”    Afficher plus
Conditions liées au contrat
Conditions d'exécution du contrat:
“Prix ferme pour l'acquisition de l'équipement. Paiement à 30 jours conformément à l'article R. 2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra...”    Afficher plus

Procédure
Type de procédure
Procédure ouverte
Informations administratives
Délai de réception des offres ou des demandes de participation: 2020-03-04 12:00 📅
Langues dans lesquelles les offres ou les demandes de participation peuvent être présentées: français 🗣️
Le délai ci-dessous est exprimé en nombre de mois.
Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire doit maintenir l'offre: 4
Conditions d'ouverture des offres: 2020-03-04 14:00 📅
Conditions d'ouverture des offres (Informations sur les personnes autorisées et la procédure d'ouverture): L'ouverture des offres n'est pas publique, les candidats ne peuvent y assister.

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“Condition de remise des plis: les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur:...”    Afficher plus
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Versailles
Adresse postale: 56 avenue de Saint-Cloud
Commune postale: Versailles Cedex
Code postal: 78011
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 139205400 📞
Courrier électronique: greffe.ta-versailles@juradm.fr 📧
Fax: +33 139205487 📠
URL: http://www.ta-versailles.juradm.fr 🌏
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces...”    Afficher plus
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Versailles
Adresse postale: 56 avenue de Saint-Cloud
Commune postale: Versailles Cedex
Code postal: 78011
Pays: France 🇫🇷
Téléphone: +33 139205400 📞
Courrier électronique: greffe.ta-versailles@juradm.fr 📧
Fax: +33 139205422 📠
URL: http://www.ta-versailles.juradm.fr 🌏
Source: OJS 2020/S 020-043916 (2020-01-27)
Avis d'attribution de marché (2020-04-24)
Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
“L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE...”    Afficher plus
Valeur totale du marché (hors TVA): EUR 299 116 💰
Description
Site principal ou lieu d'exécution:
“Centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N) 10 boulevard Thomas Gobert 91120 Palaiseau.”
Description du marché:
“Il s'agira de l'acquisition, la livraison, l'installation et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE...”    Afficher plus
Critères d'attribution
Critère de qualité (nom): Technique
Critère de qualité (pondération): 40
Critère de qualité (nom): Garantie de l'équipement
Critère de qualité (pondération): 20
Prix (pondération): 40

Procédure
Informations administratives
Publication précédente concernant cette procédure: 2020/S 020-043916

Attribution du marché

1️⃣
Numéro de contrat: 2023007
Titre:
“Acquisition, installation, livraison et mise en service d'un dispositif de gravure ionique réactive utilisant des gaz fluorés pour le Centre de nanoscience...”    Afficher plus
Date de conclusion du contrat: 2020-04-23 📅
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 4
Nom et adresse du contractant
Nom: Sentech Instruments GmbH
Adresse postale: Schwarzschildstrasse 2 D-12489
Commune postale: Berlin
Pays: Allemagne 🇩🇪
Courrier électronique: marketing@sentech.de 📧
Région: Berlin 🏙️
Le contractant est une PME
Information sur la valeur du contrat/lot (hors TVA)
Valeur totale estimée du contrat/lot: EUR 320 000 💰
Valeur totale du contrat/lot: EUR 299 116 💰

Informations complémentaires
Informations complémentaires

“La date de notification du marché au titulaire est le 23.4.2020 et la date de signature du marché par le pouvoir adjudicateur est le 22.4.2020. Le présent...”    Afficher plus
Procédure d'examen
Informations précises sur le(s) délai(s) des procédures d'examen:
“Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces...”    Afficher plus
Source: OJS 2020/S 083-195971 (2020-04-24)