Location d'un équipement de métrologie basé sur de l'imagerie optique pour effectuer des mesures d'overlay
Pour ses projets en microélectronique, le CEA-leti souhaite louer un équipement de métrologie basé sur de l'imagerie optique pour effectuer des mesures d'overlay. Cet équipement devra être compatible avec les nœuds technologiques 10nm et plus avancés. Les mesures se feront en manuel et en automatique sur des plaques 200 et 300mm. Leur chargement se fera automatiquement.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2017-06-12.
L'appel d'offres a été publié le 2017-05-12.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2017-05-12
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Avis de marché
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| 2017-06-28
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Avis d'attribution de marché
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| 2017-12-21
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Avis d'attribution de marché
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