Système d'abattement EPI 300 mm. Référence AOO-160438

CEA Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un système intégré de traitement des effluents gazeux et liquides pour un équipement multi-réacteurs de dépôt RP-CVD (Reduced Pressure — Chemical Vapor Deposition) pour l'épitaxie de matériaux de type Si, SiGe, SiGeC 300 mm.
Ce système doit être:
— compatible avec les contraintes du site dans lequel il sera implanté (sous sol),
— Communicant avec l'équipement principal qui se trouvera lui, en salle blanche
En outre, des systèmes de pompage seront nécessaires à son bon fonctionnement. Ceux-ci devront avoir les mêmes contraintes que le système d'abattement.
Ce système sera installé dans les locaux techniques connexes aux salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-08-08. L'appel d'offres a été publié le 2016-07-07.

Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Historique des marchés publics
Date Document
2016-07-07 Avis de marché
2016-07-11 Informations complémentaires
2016-09-14 Avis d'attribution de marché
2016-10-04 Avis d'attribution de marché
Informations complémentaires (2016-07-11)
Pouvoir adjudicateur
Nom et adresse
Nom: CEA Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Commune postale: Grenoble
Code postal: 38054
Pays: France 🇫🇷
Personne de contact: Loic Gataleta
Téléphone: +33 438781186 📞
Courrier électronique: loic.gataleta@cea.fr 📧
Fax: +33 438785060 📠
Région: fr714 🏙️
URL: www.cea.fr 🌏
Adresse du profil d'acheteur: https://avis-de-marches.cea.fr 🌏

Objet
Champ d'application du marché
Titre: Système d'abattement EPI 300 mm. Référence AOO-160438.
Produits/services: Machines et appareils microélectroniques 📦
Brève description:
“Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un système intégré de traitement des effluents gazeux et liquides pour un équipement multi-réacteurs de dépôt...”    Afficher plus

Informations complémentaires
Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO S: 2016/S 131-234697

Changements
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: I.1)
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Texte: https://avis-de-marche.cea.fr
Nouvelle valeur
Texte: https://avis-de-marches.cea.fr
Texte à corriger dans l'avis original
Numéro de section: I.3)
Emplacement du texte à modifier: Communication:
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Texte: https://avis-de-marche.cea.fr
Nouvelle valeur
Texte: https://avis-de-marches.cea.fr
Source: OJS 2016/S 135-242544 (2016-07-11)