Microscope électronique à balayage de revue de défauts
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition de 1 microscope électronique à balayage de revue de défauts.
L’équipement devra être entièrement automatique et pouvoir traiter à la fois des plaques de 200 mm et 300 mm de diamètre. Il devra permettre la rotation des plaques à 360° et leur observation jusqu’à un angle de 45°. Il devra également comporter un système d’analyse par rayons X et une colonne "FIB" (Focus Ion Beam) pour réaliser des coupes localisées sur les plaques. Il devra être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Il sera installé sur la plateforme silicium du CEA-LETI où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-09-26.
L'appel d'offres a été publié le 2016-08-08.
Qui ?
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2016-08-08
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Avis de marché
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| 2016-10-04
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Avis d'attribution de marché
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