Fourniture d'un équipement de polissage mécano-chimique
Le CEA LETI recherche un équipement de polissage mécano-chimique pour la mise au point de technologies nanoélectroniques sur des plaques de 300mm de diamètre.
L'équipement devra comporter au moins 4 plateaux de polissage indépendants équipés des dernières générations de système de détection de fin de polissage, ainsi que 2 lignes de nettoyage. L'équipement devra également pouvoir intégrer des systèmes de mesures d'épaisseurs de type NOVA.
Cet équipement sera entièrement automatique, cassette-cassette, et compatible aux normes 300mm du CEA LETI. Il sera installé dans les salles blanches du CEA LETI à Grenoble pour une utilisation 24/24h.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-08-30.
L'appel d'offres a été publié le 2016-07-12.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2016-07-12
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Avis de marché
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