Fourniture d'un équipement d'alignement de masques 200 mm
Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement d'alignement de masques 200 mm.
L'équipement devra permettre un alignement face avant («TSA») ou face avant/face arrière («BSA»), directement ou à travers le substrat en utilisant une source et un détecteur dans l'infrarouge dans les 2 configurations (source en haut et détecteur en bas, ou l'inverse). L'alignement sera manuel avec assistance vidéo. La compensation du non-parallélisme sera automatique, avec ou sans contact («spacers»). L'exposition sera possible en contact (modes «soft-, hard- ou vacuum-») ou en proximité (programmable).
Le chargement des plaques sera manuel.
L'équipement sera installé dans les salles blanches du CEA/LETI à Grenoble pour une utilisation 24/24h.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-09-20.
L'appel d'offres a été publié le 2016-08-05.
Qui ?
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2016-08-05
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Avis de marché
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