Équipement de mesure d’ épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres, communément appelé « éllipsomètre 200-300 mm »
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 200 millimètres et 300 millimètres. Cet équipement devra permettre des mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiGe, SOI, etc…) et d’empilements de couches. Il devra pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs. L’équipement sera installé dans la salle blanche micro-électronique du CEA-LETI et sera utilisé 24h/24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-02-19.
L'appel d'offres a été publié le 2016-01-08.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2016-01-08
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Avis de marché
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| 2016-06-16
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Avis d'attribution de marché
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