AOO-160697-SVI — Fourniture d'un équipement de métrologie par rayonnement X
Le CEA LETI recherche pour ses travaux en nanoélectronique avancé, un équipement de métrologie par rayonnement X capable de traiter à la fois des plaques de 200 et 300 mm de diamètre. L'équipement devra permettre de mesurer des monocouches ou des empilements de couches minces, en mode réflectométrie et diffraction (analyse des phases, haute résolution, « in plane » diffraction), avec une taille de spot inférieure à 200*200µm2..
L'équipement sera entièrement automatique. Il sera installé dans les salles blanches du CEA LETI à Grenoble pour une utilisation 24h/24h.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-12-19.
L'appel d'offres a été publié le 2016-11-17.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2016-11-17
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Avis de marché
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| 2017-06-09
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Avis d'attribution de marché
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