Un équipement d'ablation laser LiPON/Alumine

CEA/Grenoble

Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement d’ ablation laser LiPON/Alumine.
Cet équipement a pour objectif la gravure d’ une couche mince de LiPON pour la fabrication de batteries.
La gravure doit permettre de limiter les re-dépôts et être sélective vis à vis du substrat et de couches métalliques.
Le système doit être muni d’ une source laser excimère UV profond ainsi que d’ une table avec alignement motorisé x/y/z.
L'équipement sera installé dans un environnement de production type salle blanche sur le site de STMicroelectronics à Tours et devra en conséquence être conforme aux normes en vigueur dans ces environnements.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-02-03. L'appel d'offres a été publié le 2015-12-18.

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Historique des marchés publics
Date Document
2015-12-18 Avis de marché