Fourniture et installation d'un réacteur de dépôt de couches atomique (Atomic Layer Deposition, ALD)

CNRS — délégation Île-de-France Ouest et Nord

Le marché est passé par le Centre National de la Recherche Scientifique pour le compte du Laboratoire de Physique des interfaces et des Couches Minces (LPICM).
Le marché concerne la fourniture et l'installation d'un réacteur de dépôt de couches atomique (ALD).
Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles décrites à l'article II.2.1 ci-dessous (Quantité ou étendue du marché).
La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières contenu dans le dossier de consultation des entreprises.
Les modalités d'obtention du dossier de consultation des entreprises sont décrites à l'article VI.3 ci-dessous.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2015-06-15. L'appel d'offres a été publié le 2015-04-20.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

Qui ? Qu'est-ce que c'est ? Où ?
Historique des marchés publics
Date Document
2015-04-20 Avis de marché
2015-09-24 Avis d'attribution de marché
Avis de marché (2015-04-20)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils à usage spécifique
Quantité ou étendue:
Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles.La tranche ferme porte sur la fourniture de l'équipement principal, l'ALD comprenant, en configuration de base, une chambre de dépôt, des portes-substrats, un système de gestion de sources et gaz, un système de Pilotage et, en option, deux options d'extension de garantie respectivement d'une durée d'un an et de deux ans.La tranche conditionnelle n°1 porte sur la fourniture d'un système de pompage sec avec un filtre mécanique de particules et une chambre de post-combustion (after-burner) compatible avec l'équipement principal.La tranche conditionnelle n°2 porte sur la fourniture d'un système manuel de transfert de substrat avec isolation de la chambre de dépôt (SAS).La tranche conditionnelle n°3 porte sur un système de dissociation lointain de gaz par plasma.La tranche conditionnelle n°4 porte sur la fourniture d'un système de montage de sources (DEZ) nécessaires pour le dépôt de l'oxyde de zinc (ZnO).La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières contenu dans le dossier de consultation des entreprises.Le CNRS n'est engagé que pour la tranche ferme, il peut affermir les tranches conditionnelles dans le délai de 6 mois à compter de l'admission des prestations de la tranche ferme. Les prix du marché sont actualisables dans les conditions exprimées à l'article 8.4 du cahier des clauses administratives particulières du marché contenu dans le dossier de consultation des entreprises.Les modalités d'obtention du dossier de consultation des entreprises sont décrites à l'article VI.3 ci-dessous.
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Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils à usage spécifique 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS — Délégation Ile-de-France Ouest et Nord
Adresse postale: 1 place Aristide Briand
Code postal: 92195
Commune postale: Meudon-Bellevue
Contact
Courrier électronique: marches@dr5.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 145075014 📞
Fax: +33 145075899 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2015-04-20 📅
Date limite de soumission: 2015-06-15 📅
Date de publication: 2015-04-24 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 080-141005
Numéro JO-S: 80
Informations complémentaires
1) Retrait du dossier de consultation des entreprises (DCE): Les candidats retirent le DCE par téléchargement sur la plateforme de dématérialisation choisie par le CNRS:la plateforme des achats de l'État (PLACE) sur Internet, à cette adresse: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome Afin de pouvoir décompresser les documents électroniques mis à disposition, les candidats doivent disposer des logiciels permettant de lire les formats: .zip, .pdf, .docx, .xlsx, .pptx, .rtf. 2) Remise des candidatures et des offres: Les conditions de remises des candidatures et des offres sont détaillées dans le DCE. Les candidatures et les offres peuvent être remises sur support papier (mode conseillé) ou de façon dématérialisée via la plateforme de dématérialisation. Le cas échéant, la signature électronique des candidatures et des offres se fait via l'utilisation de certificats électroniques valides (non expirés et nonrévoqués) reconnus par la plateforme de dématérialisation choisie par le CNRS. La signature électronique doit figurer sur tous les documents pour lesquels elle est requise et pas seulement sur le zip. S'agissant des certificats électroniques utilisables, des renseignements plus détaillés figurent sur la plateforme. 3) Remarques: Le téléchargement du DCE ne nécessite pas d'inscription préalable sur la plateforme de dématérialisation.Toutefois, il est fortement conseillé aux candidats de s'inscrire sur la plateforme en indiquant une adresse électronique valide afin d'être informés automatiquement d'une quelconque modification du DCE ou de toute autre information délivrée dans le cadre de la consultation. En aucun cas, le CNRS ne saurait être tenu responsable du manque d'information du candidat par défaut d'inscription.
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Objet
Champ d'application du marché
Brève description:
Le marché est passé par le Centre National de la Recherche Scientifique pour le compte du Laboratoire de Physique des interfaces et des Couches Minces (LPICM).
Le marché concerne la fourniture et l'installation d'un réacteur de dépôt de couches atomique (ALD).
Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles décrites à l'article II.2.1 ci-dessous (Quantité ou étendue du marché).
La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières contenu dans le dossier de consultation des entreprises.
Les modalités d'obtention du dossier de consultation des entreprises sont décrites à l'article VI.3 ci-dessous.
Quantité ou étendue:
Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles.
La tranche ferme porte sur la fourniture de l'équipement principal, l'ALD comprenant, en configuration de base, une chambre de dépôt, des portes-substrats, un système de gestion de sources et gaz, un système de Pilotage et, en option, deux options d'extension de garantie respectivement d'une durée d'un an et de deux ans.
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La tranche conditionnelle n°1 porte sur la fourniture d'un système de pompage sec avec un filtre mécanique de particules et une chambre de post-combustion (after-burner) compatible avec l'équipement principal.
La tranche conditionnelle n°2 porte sur la fourniture d'un système manuel de transfert de substrat avec isolation de la chambre de dépôt (SAS).
La tranche conditionnelle n°3 porte sur un système de dissociation lointain de gaz par plasma.
La tranche conditionnelle n°4 porte sur la fourniture d'un système de montage de sources (DEZ) nécessaires pour le dépôt de l'oxyde de zinc (ZnO).
La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières contenu dans le dossier de consultation des entreprises.
Le CNRS n'est engagé que pour la tranche ferme, il peut affermir les tranches conditionnelles dans le délai de 6 mois à compter de l'admission des prestations de la tranche ferme. Les prix du marché sont actualisables dans les conditions exprimées à l'article 8.4 du cahier des clauses administratives particulières du marché contenu dans le dossier de consultation des entreprises.
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Les modalités d'obtention du dossier de consultation des entreprises sont décrites à l'article VI.3 ci-dessous.
Description des options:
Le Pouvoir adjudicateur se réserve la possibilité de passer des marchés complémentaires dans les conditions exprimées à l'article 33.II.4 du décret n° 2005-1742 du 30.12.2005 modifié.
Numéro de référence: CNRS-DR5-RCAO1505
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
CNRS-LPICM
Bâtiment 406
École Polytechnique
91128 Palaiseau Cedex.

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:
Les candidats auront à produire un dossier complet comprenant les pièces suivantes et qui seront signées par leurs représentants habilités.
(Toutefois, et ce en application du décret n° 2014-1097 du 26.9.2014 portant mesures de simplification applicables aux marchés publics, les candidats sont dispensés de fournir les documents justificatifs et renseignements accessibles gratuitement en ligne par l'acheteur public par le biais d'un système électronique de mise à disposition d'informations administré par un organisme officiel, ou d'un espace de stockage numérique, accessible gratuitement. Le cas échéant, les candidats concernés fournissent dans leur réponse l'ensemble des informations nécessaires à la consultation de ces outils numériques.)
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1) Une lettre d'intention de soumissionner sur papier à en-tête ou lettre de candidature datée et signée par la personne habilitée à engager l'entreprise. En cas de groupement, la lettre présentera les noms et coordonnées des membres du groupement; le nom du mandataire; la forme du groupement candidat (conjoint ou solidaire); l'autorisation ou non du mandataire à signer seul l'acte d'engagement (cf. l'imprimé DC 1: lettre de candidature et d'habilitation de mandataire par ses cotraitants).
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2) La copie du ou des jugements prononcés, si le candidat est en redressement judiciaire.
3) Une déclaration sur l'honneur, en application des articles 8 et 38 de l'ordonnance n° 2005-649 du 6.6.2005 modifiée relative aux marchés passés par certaines personnes publiques ou privées non soumises au code des marchés publics, pour justifier:
a) ne pas avoir fait l'objet, depuis moins de 5 ans, d'une condamnation définitive pour l'une des infractions prévues par les articles suivants du code pénal: les articles 222-38, 222-40, 313-1 à 313-3, 314-1 à 314-3,324-1 à 324-6, 421-2-1, le deuxième alinéa de l'article 421-5, l'article 433-1, le deuxième alinéa de l'article 434-9, les articles 435-2, 441-1 à 441-7, les premier et deuxième alinéas de l'article 441-8, l'article 441-9 etl'article 450-1, ou ne pas avoir fait l'objet d'une condamnation pour une infraction de même nature dans un autre État de l'Union Européenne;
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b) ne pas avoir fait l'objet, depuis moins de 5 ans d'une condamnation définitive pour l'infraction prévue par l'article 1741 du code général des impôts ou une infraction de même nature dans un autre État de l'Union Européenne;
c) ne pas avoir fait l'objet, depuis moins de 5 ans, d'une condamnation inscrite au bulletin n° 2 du casier judiciaire pour les infractions mentionnées aux articles L. 8221-1, L. 8231-1, L. 8241-1 et L. 8251-1 du code du travail ou des infractions de même nature dans un autre État de l'Union Européenne;
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d) ne pas être en état de liquidation judiciaire ou ne pas faire l'objet d'une procédure équivalente régie par un droit étranger;
e) ne pas être déclaré en état de faillite personnelle ou ne pas faire l'objet d'une procédure équivalente régie par un droit étranger;
f) ne pas être admis au redressement judiciaire ou à une procédure équivalente régie par un droit étranger sans justifier d'une habilitation à poursuivre son activité pendant la durée prévisible d'exécution du marché;
g) avoir, au 31 décembre de l'année précédant celle au cours de laquelle a lieu le lancement de la consultation,souscrit les déclarations lui incombant en matière fiscale et sociale et acquitté les impôts et cotisations exigibles à cette date, ou s'être acquitté spontanément de ces impôts et cotisations avant la date du lancement de la présente consultation ou avoir constitué spontanément avant cette date des garanties jugées suffisantes par le comptable ou l'organisme chargé du recouvrement;
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h) être en règle, au cours de l'année précédant celle au cours de laquelle a lieu le lancement de la consultation,au regard des articles L. 5212-2, L. 5212-5 et L. 5212-9 du code du travail concernant l'emploi des travailleurs handicapés;
i) égalité professionnelle entre les femmes et les hommes:
— ne pas avoir fait l'objet, depuis moins de 5 ans, d'une condamnation inscrite au bulletin n° 2 du casier judiciaire pour les infractions mentionnées à l'article L. 1146-1 du code du travail,
— avoir, au 31 décembre de l'année précédant celle au cours de laquelle a lieu de lancement de la consultation,mis en œuvre l'obligation de négociation prévue à l'article L. 2242-5 du code du travail ou, à défaut, avoir réalisé ou engagé la régularisation de cette situation à la date de la soumission.
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La plupart de ces renseignements peuvent être fournis en complétant les formulaires DC 1 et DC 2 dans leurs dernières versions disponibles sur internet à l'adresse suivante: http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-candidat
Toutes les pièces sont dûment datées et signées.
En cas de groupement, la production des éléments relatifs à la candidature s'applique à tous les membres du groupement pour les prestations qu'ils exécuteront.
Les entreprises de moins de 3 ans prouveront par tout moyen qu'elles possèdent les capacités professionnelles, techniques et financières requises.
Situation économique et financière:
Une déclaration concernant le chiffre d'affaires global et concernant le chiffre d'affaires des fournitures et services objet du marché réalisés au cours des 3 derniers exercices disponibles.
Les entreprises ayant moins de 3 ans d'existence prouveront par tout moyen qu'elles possèdent les capacités professionnelles, techniques et financières requises.
Capacité technique et professionnelle:
Les candidats devront fournir, pour déterminer leur capacité à exécuter les prestations un dossier comprenant:
1) Une déclaration indiquant les effectifs moyens annuels dont dispose le candidat et l'importance du personnel d'encadrement, ainsi que les qualifications et compétences de la partie de ces effectifs en rapport avec marché, pour chacune des 3 dernières années.
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2) Une description de l'équipement technique, des mesures employés par le candidat pour s'assurer de la qualité et des moyens d'étude de son entreprise pour la réalisation des fournitures et services objet du marché.
3) Une description des moyens de l'entreprise pour le service après-vente des fournitures de même type que celles du marché.
4) Une présentation d'une liste de fournitures et services de même type effectuées au cours des 3 dernières années, en particulier dans le domaine des systèmes de dépôt par couches atomiques (ALD), indiquant la description technique, le montant, la date et le destinataire public ou privé précis, notamment ceux exerçant une activité de recherche. Les livraisons et les prestations de service sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration du candidat. Les entreprises apporteront par tout moyen qu'elles possèdent les preuves de leur capacité professionnelle et technique à réaliser les fournitures et services du marché.
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5) Des certificats établis par des services chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Si le candidat n'a pas accès à ces certificats ou n'a aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés, le CNRS accepte toute autre preuve de mesure équivalente de garantie de la qualité produite.
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Les entreprises prouveront par tout moyen qu'elles possèdent les capacités professionnelles et techniques requises.
Exécution du marché
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:
Financement du marché sur le budget du CNRS.
Le réglement des prestations exécutées s'effectue par virement administratif à 30 jours.
Les prix sont actualisables dans les conditions de l'article 8.4 du CCAP.
Une avance de 20 % du montant ttc de chaque tranche est versée au titulaire sous réserve que le montant de la tranche considérée soit supérieur à 50 000 EUR HT et que son délai d'exécution soit supérieur à deux mois.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:
En cas de groupement de candidature, le groupement est solidaire ou conjoint. En cas de groupement conjoint, le mandataire du groupement est solidaire de ses cotraitants.

Procédure
Période de validité de l'offre: 90 jours
Langues
Langue: français 🗣️

Pouvoir adjudicateur
Identité
Numéro d'enregistrement national: 18008901300155
Contact
Point de contact: Service financier et comptable, bureau de la politique d'achat
François Kine
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome 🌏
URL pour la participation: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome 🌏
Courrier électronique: greffe.ta-versailles@juradm.fr 📧
URL des documents: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome 🌏

Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: CNRS-DR5-RCAO1505
Informations complémentaires
1) Retrait du dossier de consultation des entreprises (DCE):
Les candidats retirent le DCE par téléchargement sur la plateforme de dématérialisation choisie par le CNRS:la plateforme des achats de l'État (PLACE) sur Internet, à cette adresse: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome
Afin de pouvoir décompresser les documents électroniques mis à disposition, les candidats doivent disposer des logiciels permettant de lire les formats: .zip, .pdf, .docx, .xlsx, .pptx, .rtf.
2) Remise des candidatures et des offres:
Les conditions de remises des candidatures et des offres sont détaillées dans le DCE.
Les candidatures et les offres peuvent être remises sur support papier (mode conseillé) ou de façon dématérialisée via la plateforme de dématérialisation. Le cas échéant, la signature électronique des candidatures et des offres se fait via l'utilisation de certificats électroniques valides (non expirés et nonrévoqués) reconnus par la plateforme de dématérialisation choisie par le CNRS. La signature électronique doit figurer sur tous les documents pour lesquels elle est requise et pas seulement sur le zip. S'agissant des certificats électroniques utilisables, des renseignements plus détaillés figurent sur la plateforme.
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3) Remarques:
Le téléchargement du DCE ne nécessite pas d'inscription préalable sur la plateforme de dématérialisation.Toutefois, il est fortement conseillé aux candidats de s'inscrire sur la plateforme en indiquant une adresse électronique valide afin d'être informés automatiquement d'une quelconque modification du DCE ou de toute autre information délivrée dans le cadre de la consultation. En aucun cas, le CNRS ne saurait être tenu responsable du manque d'information du candidat par défaut d'inscription.
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Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Versailles
Adresse postale: 56 avenue de Saint-Cloud
Commune postale: Versailles
Code postal: 78011
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-versailles@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 139205400 📞
Fax: +33 139205890 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Greffe du tribunal administratif de Versailles
Source: OJS 2015/S 080-141005 (2015-04-20)
Avis d'attribution de marché (2015-09-24)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 353 244 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Identité
Nom du pouvoir adjudicateur: CNRS — délégation Île-de-France Ouest et Nord
Commune postale: Meudon Bellevue

Référence
Dates
Date d'envoi: 2015-09-24 📅
Date de publication: 2015-09-29 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 188-340987
Se réfère à l'avis: 2015/S 80-141005
Numéro JO-S: 188
Informations complémentaires
Le marché a été conclu avec un groupement conjoint. Celui-ci est composé de Microtest SA (mandataire) et de Picosun Oy (Tietotie — 02150 Espoo Finlande). Le montant hors taxes détaillé du marché est le suivant: Tranche ferme: 201079 EUR. Tranche conditionnelle n° 1: 21 720 EUR. Tranche conditionnelle n° 2: 41 520 EUR. Tranche conditionnelle n° 3: 82 500 EUR. Tranche conditionnelle n° 4: 6 425 EUR.
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Objet
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:
91128 Palaiseau Cedex
Code NUTS FR104

Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Valeur technique (60)
2. Prix (25)
3. Délai de livraison (5)
4. Service après-vente (5)
5. Développement durable (5)

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2015-09-01 📅
Nom: Microtest SARL
Adresse postale: ZA La Garrigue du Rameyron
Commune postale: Serignan-du-Comtat
Code postal: 84830
Pays: France 🇫🇷
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 4

Informations complémentaires
Organe de révision
Adresse Internet: http://versailles.tribunal-administratif.fr/ 🌏
Source: OJS 2015/S 188-340987 (2015-09-24)
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Région:
France Ile-de-France Ile-de-France Essonne
Produits/services:
Machines, appareils, équipements et... Matériel électrique Machines et appareils à usage spécifique