Fourniture d’un équipement de type cluster automatique de dépôt par « spin coating »
Le CEA souhaite s’équiper d’un équipement de type cluster automatique permettant le dépôt par « spin coating » de résines photosensibles et de matériaux avancés pour la fabrication de microbatteries. Il devra permettre l’utilisation de substrats ayant une taille s’inscrivant dans un diamètre de 200 mm et pouvant être rectangulaire. L’équipement sera dans un environnement salle blanche et anhydre.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-05-18.
L'appel d'offres a été publié le 2015-04-03.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2015-04-03
|
Avis de marché
|
| 2016-06-07
|
Informations complémentaires
|