Fourniture d’un équipement de dépôt multi-matériaux de type «ALD» (Atomic Layer Deposition)
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et développement les diodes électroluminescentes organiques (OLED). La mise au point de ces couches nécessite un équipement multi-matériaux (Al2O3, AZO, TiO2). Ces films seront réalisés par des techniques de dépôt de type ALD (Atomic Layer Deposition).
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium ou de verre jusqu’à 200 mm de diamètre présentant des épaisseurs de 500µm à quelques millimètres. Ce bâti doit être intégré dans une boite à gant en atmosphère inerte et compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique.
Cet équipement sera installé sur la plateforme MEMS 200 du CEA-LETI où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date de livraison souhaitée: avant fin décembre 2015.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-05-18.
L'appel d'offres a été publié le 2015-04-03.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2015-04-03
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Avis de marché
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| 2015-05-06
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Informations complémentaires
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| 2015-08-24
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Avis d'attribution de marché
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