Fourniture d'un équipement de découpe et de gravure
Le CEA/LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement ayant pour objectif la gravure d'un empilement de couches minces LiCoO2/Métal pour la fabrication de batteries.
La gravure doit permettre de limiter les re-dépôts et ne pas endommager le substrat.
Le système doit être muni de lasers Nd-YAG avec des impulsions nanosecondes et picosecondes.
Les options suivantes devront également faire partie de l'offre:
— option n° 1: chargement/déchargement automatique,
— option n° 2: contrôle du procédé,
— option n° 3: licences autonomes,
— option n° 4: trajectoire alternative du faisceau,
— option n° 5: transport DAP ST Microélectronics Tours.
L'équipement sera installé dans un environnement de production type salle blanche sur le site de STMicroelectronics à Tours et devra en conséquence être conforme aux normes en vigueur dans ces environnements.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2016-02-03.
L'appel d'offres a été publié le 2015-12-18.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2015-12-18
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Avis de marché
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| 2016-01-05
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Informations complémentaires
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| 2017-01-04
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Informations complémentaires
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