Équipement de nettoyage post polissage mécano-chimique par brossage de plaques
Le CEA-LETI recherche un équipement de nettoyage post polissage mécano-chimique par brossage des plaques. L’équipement devra pouvoir traiter des plaques humides sortant directement de polissage. Il devra comporter à minima 2 stations de brossage, chacune d’elles pouvant être alimentée par 2 lignes de chimies différentes.
Il devra pouvoir traiter de façon automatique des plaques de 200 mm de diamètre.
Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-10-23.
L'appel d'offres a été publié le 2015-09-11.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2015-09-11
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Avis de marché
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| 2016-01-22
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Avis d'attribution de marché
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