Équipement de nettoyage de plaques 200 mm
Le CEA/LETI recherche un équipement pour le nettoyage de plaques de silicium et en particulier pour la décontamination de leur face arrière.
L’équipement doit être capable de traiter de façon entièrement automatique des lots de 25 plaques de 200 millimètres de diamètre en traitant les plaques une par une (équipement de type single WAFER).
Il doit permettre le traitement des plaques avec plusieurs types de chimie différentes (HNO3/HCl/Eau DI, HF, HNO3/HF, H202/H2SO4/Eau DI, etc.)
Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date de livraison: livraison impérative avant le 18.12.2015.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-11-09.
L'appel d'offres a été publié le 2015-09-29.
Qui ?
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2015-09-29
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Avis de marché
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| 2015-11-24
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Informations complémentaires
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