Équipement de mesure d’épaisseurs – Ellipsomètre
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de mesure d’épaisseurs pour plaques silicium de diamètre 150 et 200 millimètres.
Cet équipement doit permettre la réalisation de mesures spectroscopiques en réflectivité et en ellipsométrie, afin de déterminer les propriétés optiques ainsi que les épaisseurs de couches minces variées (Oxydes et Nitrures de Silicium, matériaux high-k , SiC,… ) et d’empilements de couches. Il doit pouvoir mesurer des plaques comportant ou non des motifs.
Cet équipement sera installé dans une salle blanche de qualité micro-électronique et devra en conséquence être conforme aux normes en vigueur dans cet environnement.
Date de livraison souhaitée : 2ème ou 3ème trimestre 2015
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-03-20.
L'appel d'offres a été publié le 2015-02-06.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2015-02-06
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Avis de marché
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| 2015-04-28
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Informations complémentaires
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