Équipement de dépôt Dielectrique 300 mm
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts ALD/PEALD/PECVD de matériaux diélectrique (SiO2, SiN, Low K, …), d’oxydes métallique (Al2O3, TiO2, …), d’alliages d’oxyde métallique (AlSiOx , …) et de nitrure métallique (AlN, ….).
L’équipement devra comporter un réacteur de nettoyage des plaques par plasma et devra être capable de passiver les plaques après dépôt.
Il devra pouvoir traiter de façon automatique des plaques de 300 mm de diamètre.
Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-10-12.
L'appel d'offres a été publié le 2015-09-01.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2015-09-01
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Avis de marché
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| 2016-02-01
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Informations complémentaires
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