Équipement de dépôt de type PVD
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de dépôt pour ses activités de recherche et de développement sur les films magnétiques.
Les champs d’application prévus pour cet équipement sont les mémoires magnétiques (MRAM) ainsi que les capteurs de champ (magnétomètres).
La mise au point de ces films minces nécessite un équipement de type multi-cibles. Ces films minces sont réalisés par des techniques de dépôt de type PVD.
Cet équipement doit être capable de traiter des substrats de silicium de 200 et de 300 millimètres de diamètre.
Il doit être entièrement automatisé et compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique.
Cet équipement sera installé sur la plateforme silicium du CEA/LETI où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-09-29.
L'appel d'offres a été publié le 2015-08-05.
Qui ?
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2015-08-05
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Avis de marché
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