Équipement de caractérisation électrique à goutte de mercure
Le CEA/LETI souhaite s’équiper d’un équipement de caractérisation électrique utilisant la technique de contact direct à goutte de mercure sur film mince diélectrique.
Cet équipement permet de mesurer les propriétés suivantes :
— constante diélectrique,
— tension de claquage,
— densité de courant de fuites,….
Les matériaux à tester sont déposés sur des plaques de Silicium ou des substrats isolants de type verre, ayant des tailles et formes très variées allant de dix (10) centimètres carrés jusqu’à des diamètres 200 et 300 millimètres.
La configuration de base doit proposer un chargement/déchargement manuel et, en Prestations Supplémentaire Eventuelle (option), un dispositif de chargement/ déchargement automatique des plaques de 200 et 300mm qui conservera la possibilité du chargement/déchargement manuel.
Cet équipement sera installé et exploité en salle blanche pour les applications en microélectronique avancée. Il sera utilisé 7 jours/7 – 24 heures/24 – 365 jours/an.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-10-23.
L'appel d'offres a été publié le 2015-09-11.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2015-09-11
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Avis de marché
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| 2015-10-30
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Informations complémentaires
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