Équipement d'analyse par photoluminescence
Le CEA souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'analyse et de cartographie par photoluminescence pour la caractérisation de films de nitrures de matériaux du groupe III sur plaques de silicium et de saphir. L'équipement devra pouvoir traiter de façon automatique des plaques de diamètres 150 et 200 mm.
Il devra également permettre la mesure de la déformation des plaques (bow).
L'équipement sera installé et exploité en salle blanche pour des applications en microélectronique avancée.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2015-08-31.
L'appel d'offres a été publié le 2015-07-08.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
Date |
Document |
2015-07-08
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Avis de marché
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2016-02-24
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Avis d'attribution de marché
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