Acquisition et installation d'un système de lithographie UV sans masque

Informations complémentaires

Détails des critères et sous critères utilisés (Règlement de la consultation):

* prix 40 %

* caractéristiques de l'équipement 43 %, comprenant:

— Résolution d'écriture sur résine fine (0.5-1.4μm, par exemple avec la résine S1805, AZ5214) 5 %

— Résolution d'écriture sur résine épaisse avec un rapport de forme ≥ 10 (type SU8) 5 %

— Précision d'alignement de niveau de lithographie à niveau de lithographie 5 %

— Résolution de positionnement de motifs à motifs 5 %

— Épaisseur max échantillon 2 %

— Taille, type et nombre de préformes 3 %

— Tolérance max autorisée pour échantillon non plan 5 %

— Dispositif d'alignement 3 %

— Performance du système anti vibration 1 %

— Système de focalisation (automatique ou manuel) 4 %

— Distance de travail 3 %

Nombre et type de balayage (vectoriel et/ou raster scan) 2 %

* offre informatique et logicielle 7 % comprenant:

— Station de travail pour le pilotage (processeur, fréquence de travail, mémoire cache, mémoire principale et disques dur), carte graphique, moniteur (23 pouces minimum) 2 %

— Logiciel de pilotage (windows 7 ou équivalent au minimum) 2 %

— Visualisation et traitement des données/Type de fichiers acceptés 1 %

— Nombre de licence 1 %

— Conditions de mise à jour du logiciel pendant la période de garantie 0.5 %

— Compatibilité avec le logiciel raith elphy plus 0.5 %

* SAV 5 % comprenant:

— Délai maximum d'intervention sur site en cas de panne (après enregistrement de la demande) (Maximum: 72h) 1 %

— Par quels moyens le diagnostic est-il posé? 1 %

— Modalités de déclenchement des interventions sur site 1 %

— Identité des personnels dédiés aux interventions sur site pour cet instrument / Expertise et expérience des personnels dédiés aux interventions sur site pour cet instrument. 1 %

— Délai d'approvisionnement en pièces détachées en cas de panne 0.5 %

— Coût horaire des interventions (Ingénieur / technicien) hors période de garantie / extension de garantie. 0.5 %

* délai de livraison 5 %

La date d'attribution du marché, au sens du présent avis, s'entend comme étant la date de notification du marché au titulaire

La date de notification du marché au titulaire est 2.3.2016 et la date de signature du marché par le Pouvoir adjudicateur est le 29.2.2016.

Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la jurisprudence du Conseil d'État (Conseil d'État, Assemblée, Département du Tarn-et-Garonne, 4.4.2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n° 78-753 du 17.7.1978 portant diverses mesures d'amélioration des relations entre l'administration et le public et diverses dispositions d'ordre administratif, social et fiscal, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1 après une demande écrite adressée par télécopie (numéro 03 88 10 67 91) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.