Avis de marché (2015-02-06) Objet Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Quantity or scope:
“L'équipement recherché a pour objectif de pouvoir réaliser des étapes de photolithographie, c'est-à-dire exposer des résines photosensibles, préalablement...”
Quantity or scope
L'équipement recherché a pour objectif de pouvoir réaliser des étapes de photolithographie, c'est-à-dire exposer des résines photosensibles, préalablement étalées sur des échantillons de type wafer, à un rayonnement ultraviolet (UV) au travers d'un masque spécifique à ce genre d'opération (plaque de verre comportant des motifs en chrome).Cet aligneur de masque sera capable de délivrer un rayonnement UV proche, allant de 350 à 450 nm, pour obtenir une résolution proche du micromètre et également un rayonnement UV profond «deep UV», inférieur à 280 nm pour une résolution de l'ordre de 0,5 micromètre.L'appareil pourra faire l'alignement du masque soit avec la face avant des substrats (procédé simple face) ou soit avec leur face arrière (procédé double face).L'équipement devra être évolutif afin de permettre aux chercheurs et ingénieurs de FEMTO-ST d'explorer le plus de voies possibles. En particulier il devra être possible à l'avenir d'insoler des wafers allant jusqu'à 6 pouces de diamètre.6 options à caractère obligatoires: cf II.2.2 Information sur les options.
Afficher plus Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes📦
Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique
Pouvoir adjudicateur Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: Délégation Centre Est du CNRS
Adresse postale: 17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandoeuvre-lès-Nancy
Contact
Adresse Internet: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/🌏
Courrier électronique: achats@dr6.cnrs.fr📧
Téléphone: +33 383856077📞
Fax: +33 383856058 📠
Référence Dates
Date d'envoi: 2015-02-06 📅
Date limite de soumission: 2015-03-25 📅
Date de publication: 2015-02-11 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 029-048672
Numéro JO-S: 29
Informations complémentaires
“Retrait du dossier sur la plateforme suivante:...”
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Source: OJS 2015/S 029-048672 (2015-02-06)
Avis d'attribution de marché (2015-05-07) Objet Champ d'application du marché
Total value of the procurement: 227 000 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché
Procédure
Type de soumission: Sans objet
Pouvoir adjudicateur Identité
Adresse postale: 17 rue Notre Dame Des Pauvres, BP 10075
Référence Dates
Date d'envoi: 2015-05-07 📅
Date de publication: 2015-05-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 091-163574
Se réfère à l'avis: 2015/S 29-048672
Numéro JO-S: 91
Source: OJS 2015/S 091-163574 (2015-05-07)