15.06.01 Aligneur de Masque UV proche et profond — pour le compte du CNRS-Femto

Délégation Centre Est du CNRS

Aligneur de masque UV proche et profond, l'équipement devra être évolutif pour le compte du laboratoire FEMTO-CNRS.

Date limite

Le délai de réception des offres était de 2015-03-25. L'appel d'offres a été publié le 2015-02-06.

Fournisseurs

Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :

• EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH

Qui ?

• Délégation Centre Est du CNRS

Qu'est-ce que c'est ?

• Équipement électronique › Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes

Où ?

• Franche-Comté

Historique des marchés publics

Date	Document
2015-02-06	Avis de marché
2015-05-07	Avis d'attribution de marché

Avis de marché (2015-02-06)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Quantité ou étendue:

L'équipement recherché a pour objectif de pouvoir réaliser des étapes de photolithographie, c'est-à-dire exposer des résines photosensibles, préalablement étalées sur des échantillons de type wafer, à un rayonnement ultraviolet (UV) au travers d'un masque spécifique à ce genre d'opération (plaque de verre comportant des motifs en chrome).Cet aligneur de masque sera capable de délivrer un rayonnement UV proche, allant de 350 à 450 nm, pour obtenir une résolution proche du micromètre et également un rayonnement UV profond «deep UV», inférieur à 280 nm pour une résolution de l'ordre de 0,5 micromètre.L'appareil pourra faire l'alignement du masque soit avec la face avant des substrats (procédé simple face) ou soit avec leur face arrière (procédé double face).L'équipement devra être évolutif afin de permettre aux chercheurs et ingénieurs de FEMTO-ST d'explorer le plus de voies possibles. En particulier il devra être possible à l'avenir d'insoler des wafers allant jusqu'à 6 pouces de diamètre.6 options à caractère obligatoires: cf II.2.2 Information sur les options.

Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: Délégation Centre Est du CNRS
Adresse postale: 17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Code postal: 54519
Commune postale: Vandoeuvre-lès-Nancy
Contact
Adresse Internet: http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/ 🌏
Courrier électronique: achats@dr6.cnrs.fr 📧
Téléphone: +33 383856077 📞
Fax: +33 383856058 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2015-02-06 📅
Date limite de soumission: 2015-03-25 📅
Date de publication: 2015-02-11 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 029-048672
Numéro JO-S: 29
Informations complémentaires

Retrait du dossier sur la plateforme suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=227993&orgAcronyme=f2h

Objet
Champ d'application du marché
Brève description:

Aligneur de masque UV proche et profond, l'équipement devra être évolutif pour le compte du laboratoire FEMTO-CNRS.

Les variantes sont acceptées ✅
Quantité ou étendue:

Cet aligneur de masque sera capable de délivrer un rayonnement UV proche, allant de 350 à 450 nm, pour obtenir une résolution proche du micromètre et également un rayonnement UV profond «deep UV», inférieur à 280 nm pour une résolution de l'ordre de 0,5 micromètre.

L'appareil pourra faire l'alignement du masque soit avec la face avant des substrats (procédé simple face) ou soit avec leur face arrière (procédé double face).

L'équipement devra être évolutif afin de permettre aux chercheurs et ingénieurs de FEMTO-ST d'explorer le plus de voies possibles. En particulier il devra être possible à l'avenir d'insoler des wafers allant jusqu'à 6 pouces de diamètre.

6 options à caractère obligatoires: cf II.2.2 Information sur les options.

Description des options:

1. Option compatibilité 6 pouces: un porte masque 7 pouces et un porte substrat 6 pouces.

2. Option vision temps réel: l'offre devra proposer en option la possibilité de réaliser les alignements face avant avec observation directe en temps réel de l'alignement par l'intermédiaire d'une optique sans capture d'image.

3. Option faible grandissement: un système optique supplémentaire permettant d'obtenir de faibles grandissements, 40 x à 100 x à l'écran de visualisation, offrant ainsi un grand champ d'observation.

4. Option procédé «deep UV» : une formation de 2 jours à la mise au point d'un procédé «deep-UV» comprenant les étapes d'enduction, d'exposition et de développement par un ingénieur procédé.

5. Option contrat de maintenance: un contrat de maintenance préventive annuelle (contrat de maintenance + assistance hotline).

6. Option Chargement automatique: l'offre devra fournir en option la possibilité de réaliser un chargement et un alignement automatique des substrats 4 pouces.

Durée de l'accord: 3 mois
Numéro de référence: 15.06.01 - Femto - Aligneur de masque UV proche et profond
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:

FEMTO — ST — centrale de technologie Mimento

bâtiment «Temis Innovation — maison des microtechniques»

UMR 6174

18 rue Alain Savary

25000 Besançon.

Informations juridiques, économiques, financières et techniques
Conditions de participation
Habilitation à exercer l'activité professionnelle:

— La lettre de candidature présentant: les noms, Siret et coordonnées du candidat; en cas de groupement: le nom du mandataire; la forme du groupement (conjoint ou solidaire); l'autorisation ou non du mandataire à signer seul l'acte d'engagement (ou formulaire DC1),

— les pouvoirs de la personne habilitée à engager la société,

— la copie du ou des jugements prononcés, si le candidat est en redressement judiciaire (le cas échéant, l'article e). redressement judiciaire de la déclaration sur l'honneur demandée ci-dessous doit être rayé),

— une déclaration sur l'honneur, pour justifier que le candidat n'entre dans aucun des cas mentionnés à l'article 8 de l'ordonnance n° 2005-649 du 6.6.2005 (ou annexe 1 RC: modèle d'attestation),

— une attestation d'assurance en cours de validité.

Situation économique et financière:

Une déclaration concernant le chiffre d'affaires global et le chiffre d'affaires concernant les fournitures, services ou travaux objet du présent marché, réalisés au cours des 3 derniers exercices disponibles (ou formulaire DC2).

Capacité technique et professionnelle:

Une liste de clients de référence du fournisseur en France ou en Europe (en précisant le nom de l'entreprise, l'année d'achat, le type d'équipement et si possible le nom d'un contact au sein de l'entreprise).

Exécution du marché
Principales conditions de financement et modalités de paiement et/ou référence aux dispositions pertinentes qui les régissent:

En application du décret n° 2013-269 du 29.3.2013, le délai global de paiement ne pourra excéder 30 jours à compter de la date de réception de la demande de paiement par les services. Le marché prévoit une avance de 30 % du montant initial si le candidat l'accepte dans l'acte d'engagement, un acompte de 50 % versé à la livraison de l'équipement et sur présentation d'une facture et le paiement du solde à l'admission du matériel et après formation des utilisateurs.

Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:

Les candidats peuvent remettre une offre sous forme d'un groupement conjoint ou solidaire.

Procédure
Période de validité de l'offre: 90 jours
Langues
Langue: anglais 🗣️
français 🗣️

Pouvoir adjudicateur
Contact
Point de contact: Karen Vegezzi
Adresse du profil d'acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome 🌏
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧

Référence
Identifiants
Numéro de référence attribué par le pouvoir adjudicateur: 15.06.01 - Femto - Aligneur de masque UV proche et profond

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal Administratif de Nancy
Adresse postale: n° 38, 5 place Carrière
Commune postale: Nancy
Code postal: 54036
Pays: France 🇫🇷
Courrier électronique: greffe.ta-nancy@juradm.fr 📧
Téléphone: +33 383174343 📞
Fax: +33 383174350 📠
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
Nom: Tribunal administratif de Nancy
Adresse postale: n°38, 5 place Carrière
Source: OJS 2015/S 029-048672 (2015-02-06)

Avis d'attribution de marché (2015-05-07)
Objet
Champ d'application du marché
Valeur totale du marché: 227 000 💰
Métadonnées de l'avis
Type de document: Avis d'attribution de marché

Procédure
Type de soumission: Sans objet

Pouvoir adjudicateur
Identité
Adresse postale: 17 rue Notre Dame Des Pauvres, BP 10075

Référence
Dates
Date d'envoi: 2015-05-07 📅
Date de publication: 2015-05-12 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2015/S 091-163574
Se réfère à l'avis: 2015/S 29-048672
Numéro JO-S: 91

Objet
Lieu d'exécution
Site principal ou lieu d'exécution:

FEMTO-ST — centrale de technologie Mimento,

Bâtiment «Temis Innovation — maison des microtechniques»,

UMR 6174,

18 rue Alain Savary,

Procédure
Critères d'attribution
Critère: 1. Performances de l'équipement (40)
2. Prix du système (40)
3. Maintenance, support technique (15)
4. Critère environnemental (5)

Attribution du marché
Date de conclusion du contrat: 2015-04-23 📅
Nom: EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH
Adresse postale: Di Erich Thallner Straße 1
Commune postale: St. Florian am Inn
Code postal: 4782
Pays: Autriche 🇦🇹
Courrier électronique: o.bobenstetter@evgroup.com 📧
Informations sur les appels d'offres
Nombre d'offres reçues: 2

Informations complémentaires
Organe de révision
Nom: Tribunal administratif de Nancy
Adresse postale: N °38, 5 place Carrière
Service auprès duquel des informations sur la procédure de recours peuvent être obtenues
N° 38, 5 place Carrière
Source: OJS 2015/S 091-163574 (2015-05-07)

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