Fourniture d'un microscope interférométrique plein champ et infra-rouge 200-300 mm. Date de livraison souhaitée: décembre 2014
Le CEA LETI souhaite s'équiper d'un microscope interférométrique plein champ et infra rouge pour ses activités de recherche en CMP (Polissage mécano-chimique) à l'échelle de la puce et en overlay pour des applications 3D. L'équipement recherché doit pouvoir manipuler en mode manuel des plaques de 200 et 300 millimètres de diamètre. Il doit être capable d'effectuer des mesures de nanotopographie de puces entières, des mesures de hauteur de marche et de rugosité mais aussi d'effectuer des mesures en microscopie Infra-rouge.
L'équipement devra présenter en prestations supplémentaires éventuelles ou option:
— un système de chargement automatique des plaques 300 millimètres,
— des mesures en Infrarouge par transmission face avant et par réflexion en face arrière,
— une précision de positionnement du stage de 0.1μm.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA-LETI où il fonctionnera 24 heures sur 24 – 7 jours sur 7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-09-29.
L'appel d'offres a été publié le 2014-08-07.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2014-08-07
|
Avis de marché
|
| 2015-03-20
|
Avis d'attribution de marché
|