Fourniture d’un équipement de traitement chimique par batch
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de traitement chimique capable de traiter en même temps des « batch » de 50 plaques de silicium de 100, 150 ou 200mm de diamètre, avec la possibilité de basculer d’un diamètre de plaques à un autre très rapidement. L’équipement sera utilisé pour le nettoyage de matériaux de type III-V ; GaAs, InP, InGaAs, GaN, AlGaN, etc…il devra être capable de gérer à minima les 4 chimies suivantes au cours d’un procédé : Ozone, HF, NH4OH et HCl.
L’équipement sera installé dans les salles blanche du CEA-LETI et sera utilisée 24h/24 - 7j/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-12-15.
L'appel d'offres a été publié le 2014-11-04.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2014-11-04
|
Avis de marché
|
| 2015-03-24
|
Avis d'attribution de marché
|