Fourniture d’un équipement de stripping
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’une machine de traitement chimique pour plaques silicium 150mm, avec la possibilité de basculer en 200mm via des modifications mineures de l’équipement.
Cette machine sera utilisée pour faire de l’élimination de résines lithographiques photo-sensibles («stripping») et du retrait de polymères issus des procédés de gravure plasma, à l’aide de formulations de solvants organiques disponibles commercialement. L’injection des produits chimiques dans la chambre de traitement devra se faire en aspersion, et la chambre de process devra pouvoir traiter un lot complet de 25 plaques simultanément (équipement «spray batch»).
Les procédés seront réalisés selon le mode « dry-in dry-out », ce qui signifie que l’équipement gérera le traitement chimique, le rinçage et le séchage de façon entièrement automatisée sans que les plaques ne ressortent de la chambre de process.
L’équipement embarquera les réservoirs de produits chimiques qui devront être constamment recirculés, filtrés, régulés en débit et en température..
Cette machine sera installée dans une salle blanche de qualité micro-électronique d’IPDIA à Caen et devra en conséquence être conforme aux normes en vigueur dans ces environnements.
Il fonctionnera 24 heures sur 24 – 7 jours sur 7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-12-02.
L'appel d'offres a été publié le 2014-10-20.
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2014-10-20
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Avis de marché
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