Fourniture d’un équipement de gravure de couches par vapeurs d’acide fluorhydrique

CEA / Grenoble

Pour ses programmes de recherche dans le domaine des MEMS et NEMS, le CEA LETI recherche un équipement de gravure de couches par vapeurs d’acide fluorhydrique (HF), entièrement automatique et capable de traiter des batch de 25 plaques 200 mm à la fois. L’équipementier devra également proposer, sous forme de Prestations Supplémentaires Eventuelles, une capacité de traitement de plaques de 300mm de diamètre. L’équipement devra être entièrement compatible avec une salle blanche de qualité microélectronique. Il sera installé dans les salles blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7.

Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-09-15. L'appel d'offres a été publié le 2014-07-25.

Qui ?

Qu'est-ce que c'est ?

Historique des marchés publics
Date Document
2014-07-25 Avis de marché
2014-11-05 Informations complémentaires
Avis de marché (2014-07-25)
Objet
Champ d'application du marché
Titre: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Métadonnées de l'avis
Langue originale: français 🗣️
Type de document: Avis de marché
Nature du marché: Fournitures
Réglementation: Union européenne, avec participation des pays de l'AMP
Vocabulaire commun pour les marchés publics (CPV)
Code: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes 📦

Procédure
Type de procédure: Procédure ouverte
Type de soumission: Soumission pour tous les lots
Critères d'attribution
Offre la plus économique

Pouvoir adjudicateur
Identité
Pays: France 🇫🇷
Type de pouvoir adjudicateur: Organisme de droit public
Nom du pouvoir adjudicateur: CEA / Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Code postal: 38054
Commune postale: Grenoble Cedex 9
Contact
Adresse Internet: http://www.cea.fr 🌏
Courrier électronique: catherine.senemaud@cea.fr 📧
Téléphone: +33 438780524 📞
Fax: +33 438785053 📠

Référence
Dates
Date d'envoi: 2014-07-25 📅
Date limite de soumission: 2014-09-15 📅
Date de publication: 2014-08-06 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2014/S 149-267569
Numéro JO-S: 149
Informations complémentaires

“Les marchés du CEA ne sont pas soumis au code des marchés publics.”
Source: OJS 2014/S 149-267569 (2014-07-25)
Informations complémentaires (2014-11-05)
Objet
Métadonnées de l'avis
Type de document: Informations complémentaires

Référence
Dates
Date d'envoi: 2014-11-05 📅
Date de publication: 2014-11-07 📅
Identifiants
Numéro d'avis: 2014/S 215-380346
Se réfère à l'avis: 2014/S 149-267569
Numéro JO-S: 215
Source: OJS 2014/S 215-380346 (2014-11-05)
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