Équipement de lithographie optique 3D (stepper) 300 millimètres. Date de livraison souhaitée:
Pour ses activités de Recherche en intégration 3D dans le cadre de l’institut de recherche Nanoelec de Grenoble (IRT Nanoelec), le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement entièrement automatique de lithographie optique 3D (stepper) capable d’insoler des plaques de 300 mm de diamètre. Cet équipement devra pouvoir traiter des plaques d’épaisseurs variables, fortement bombées, et atteindre des résolutions de 0.3µm. Il devra également être capable d’alignement de la face avant des plaques par rapport à leur face arrière.
Il sera installé dans la salle blanche 300mm du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-08-27.
L'appel d'offres a été publié le 2014-06-27.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2014-06-27
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Avis de marché
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