Équipement de gravure laser alumine. Date de livraison souhaitée:
L'équipement doit réaliser la gravure sélective d'un couche mince d'alumine de 100A d'épaisseur sans altérer les couches sous-jacentes en platine et Lico.
Le redépôt de matière doit être minimal.
La machine est composée d'une source laser UV (à excimère de préférence), d'une mise en forme de faisceau et d'une table à commande numérique.
L’équipement devra gérer le chargement/déchargement des wafers avec une productivité élevée.
L'ensemble sera installé dans un environnement industriel en salle blanche et sèche.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-12-18.
L'appel d'offres a été publié le 2014-11-07.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
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Document |
| 2014-11-07
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Avis de marché
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| 2016-06-02
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Informations complémentaires
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