CDSEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscpy) Date de livraison souhaitée:
Pour ses programmes de Recherche et Développement en micro et nanoélectronique, le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement, CDSEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscpy), pour effectuer des mesures dimensionnelles pouvant être inférieures à 10nm.
Les mesures devront pouvoir être réalisées en modes manuel et automatique sur des plaques de 200 et 300 millimètres de diamètre et en mode manuel sur des morceaux de plaques fixés sur wafer silicium.
Le chargement/déchargement de ces échantillons devra se faire automatiquement.
Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA-LETI où il fonctionnera 24 heures sur 24 – 7 jours sur 7.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2014-11-24.
L'appel d'offres a été publié le 2014-10-13.
Qui ?
Qu'est-ce que c'est ?
Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2014-10-13
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Avis de marché
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