Système ultra-vide de dépôt par ablation laser pulsé
le CEA souhaite acquérir un système de dépôt ultra-vide par ablation laser pulsé femto-seconde.
La chambre de croissance, de diamètre approximatif 250 mm, comportera l'ensemble des brides nécessaires pour les hublots, le manipulateur, le porte-cible, les fenêtres d'entrée laser, les fenêtres optiques, les entrées de gaz, le système de pompage et ventilation, les mesures de pression, le transfert d'échantillons et de cibles ainsi que l'ensemble des autres brides demandées par le cahier des charges. La chambre sera mise sous vide par une pompe turbomoléculaire incluant une vanne de ventilation, entrée de gaz, pompe sèche et jauges de pression. La pression de base devra être dans la gamme 10 puissance -10 mbar . Le système sera entièrement étuvable et comprendra un rack contenant l'électronique de contrôle et les unités de commande.
La chambre d'entrée rapide sera équipée d'une canne de transfert et d'une vanne sur la chambre de dépôt afin de ne pas casser le vide. Ce système sera équipé de toutes les brides, hublots, vannes de ventilation, mesure de pression et sera mise sous vide par une pompe turbomoléculaire, pompe sèche et munie d'une vanne de remise à l'air.
Un manipulateur porte-substrat (mouvements selon x,y,z) avec un système de chauffage par diode laser jusqu'à 1300 degrés Celsius sera intégré. Ce système de chauffage équipé d'un contrôleur de température pourra fonctionner en environnement ultra-vide et sous oxygène.
Un système de carrousel pour support de cible (au minimum 5 cibles transférables) sera inséré pour l'ablation laser.
L'Ensemble sera piloté par ordinateur permettant le contrôle du dépôt et l'automatisation de la plupart des tâches.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-05-24.
L'appel d'offres a été publié le 2013-04-11.
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Historique des marchés publics
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Document |
| 2013-04-11
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Avis de marché
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