Plateforme de diffusion, recuit de niobate de lithium et oxydation de silicium
L'équipement souhaité permettra de compléter la gamme des moyens de micro-fabrication disponibles à la centrale de technologie Mimento de l'Institut FEMTO-ST. Cet équipement sera dédié aux recherches technologiques concernant la fabrication de guides d'ondes optiques optimisés sur niobate de lithium et à l'oxydation de wafer silicium. Il s'agit d'un four à plusieurs étages remplissant les fonctions :
– diffusion de titane dans le niobate de lithium à des températures allant jusqu'à 1080°C sous flux de O2 barbotant dans H2O à 80°C,
– recuit de niobate de lithium après échange protonique à des températures de l'ordre de 350°C.
– oxydation de silicium à des températures pouvant aller jusqu'à 1150°C, avec ou sans vapeur d'eau.
Les recuits, diffusions peuvent concerner aussi bien des wafers 3 et 4 pouces que des échantillons de quelques mm2, pour l'oxydation du silicium le tube devra aussi accepter des wafers de 150mm.
La diffusion s'effectue avec des flux de gaz (O2 barbotant dans H2O) pour éviter l'exodiffusion du lithium.
Date limite
Le délai de réception des offres était de 2013-08-28.
L'appel d'offres a été publié le 2013-07-11.
Fournisseurs
Les fournisseurs suivants sont mentionnés dans les décisions d'attribution ou dans d'autres documents relatifs aux marchés publics :
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Historique des marchés publics
| Date |
Document |
| 2013-07-11
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Avis de marché
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| 2013-10-07
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Avis d'attribution de marché
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